中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269627 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipmentは、半導体産業でフォトレジストの成膜に使用されるハイエンドで洗練された装置です。蒸着、スパッタリング、スピンコーティングなどの成膜に複数の変調を使用します。基板への均一なコーティングを迅速かつ高精度に実現することができます。大きな基板サイズは、高スループット、および最大4500mmのプロセス互換性を提供します。TEL CS450ユニットには、基板上のレジストの厚さをリアルタイムに制御できるin-situレジスト監視機も搭載しています。この蒸化器は、ほとんどの材料の急速な熱蒸発のために電子ビーム加熱を利用しており、安全で効果的な操作のためにネイティブに統合されたフィラメント電源が含まれています。蒸発器アセットには効率的なクライオポンプがあり、処理中の基板の迅速な避難に役立ちます。このモデルには、アルゴンとキセノンスパッタリングの両方を提供するマルチソーススパッタモジュールと、マルチマテリアル蒸着用の独立したメータリングを備えたアドバンススパッタソースも含まれています。東京エレクトロンCS 450のスピンコーティング装置の精度は、高い均一性により補完され、基板上にフォトレジストを素早く正確に沈殿させることができます。スピンコーターはまた速度および均一性の精密な制御を可能にする2頭部ドライブユニットを含んでいます。この機械の均一性と精度は、高度なモーションコントローラを使用して均一なスピン速度を維持するアクティブオートロテーションモジュールによってさらに強化されています。CS 450フォトレジストアセットは、高精度と高スループットの両方を提供する信頼性の高い効率的な蒸着モデルです。効率的な放散防御により、プロセス中の安全な基板ミラーリングが可能であり、その現場でのレジスト監視装置は、沈着要件を満たすためにタイムリーな調整を可能にします。さらに、スパッタと蒸発源は幅広いプロセス互換性を提供し、優れたフォトレジスト品質を維持しながら、高い均一性と迅速な蒸着動作を提供できます。