中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269621 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450フォトレジスト装置は、半導体・回路基板用途のフォトリソグラフィープロセスに使用される先進的な高速マスクレスイメージングシステムです。このユニットは、フォトレジストコーティングされたウェーハまたはボード上のパターンを光学的に露出する高速イメージングレーザーを使用しています。電子・微細加工業界の厳しいニーズに応える複雑なパターン形成において、高いスループットと精度を発揮します。機械は正確な制御および反復可能な位置を保障するためにモーターを備えられた位置の段階および制御システムのフルレンジを組み込みます。ウェーハまたはボードは、コントローラを使用して従事することができる真空チャックにしっかりと保持されています。基板の均質性と真空レベルは、高精度と再現性を確保するために、イメージングプロセス全体で監視されます。イメージングレーザーは、マスクとマスクの必要性を排除し、工具をより速く、より費用対効果の高いものにします。レーザーを使用することで、ダイレクトイメージングと間接イメージングの両方に適した資産となります。広い波長範囲のUV （191-397nm）およびIR （820-1700nm）レーザー源は異なった適用に使用することができます。ウエハーやボード洗浄機能も搭載し、高度なウェット加工技術を搭載しています。これには、完全に自動化された化学管理装置だけでなく、分解して化学ソリューションを転送し、排気の流れを監視するためのプログラム可能な制御が含まれています。TEL CS450は、各プロセスの特定の要件に合わせて設計および自動化することができます。ユーザーは、任意の時間のオートメーションプログラムを構成することができます、そして、写真の露出と開発は、手動で介入することなく、単一の実行で完了することができます。内蔵の精密制御および監視機能により、イメージング結果の精度と再現性が保証されます。TOKYO ELECTRON CS 450フォトレジストシステムは、幅広い用途に使用できる信頼性の高い効率的なイメージングプラットフォームです。半導体や回路基板用途のフォトリソグラフィープロセスで使用できる複雑なパターンを作成するのに理想的なユニットです。