中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269620 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、TEL Limitedが製造する高精度フォトレジスト機器です。半導体、フラットパネルディスプレイ、その他の最先端エレクトロニクスの製造用途向けに設計されています。TEL CS450システムは顕微鏡とリソグラフィーツールの2つのコンポーネントで構成されています。この顕微鏡は、イメージング用に設計されており、マスクパターンをウェーハにクリティカルオーバーレイアライメントするために設計されています。自動レンズユニット（ALS）を採用し、高いスループットと高精度を実現しています。レンズマシンの開口数は1。5、倍率は最大1,400Xで、リソグラフィーツールと完全に統合されています。リソグラフィーツールは、独自のレーザービーム書き込みプロセスを使用してウェーハにフォトレジストを適用する高解像度イメージングツールを備えています。また、高精度なマスクセンタリングアセットを備えており、マスクをウェハのターゲット領域に正確に配置することができます。このモデルは、マスクの正確なアライメントのために統合された標準フォトマスク測定およびアライメント装置を使用しており、迅速な処理を可能にする動的負荷およびアライメント機能を備えています。TOKYO ELECTRON CS 450システムは、高精度パターンを作成するための信頼性と再現性の高い結果を提供します。これは、信頼性の高い操作のために構築され、簡単に交換または必要に応じてアップグレードすることができますモジュラーコンポーネントを備えています。それに自動機械欠陥検出および警報管理を含んでいる高度の単位の監視機能があります。CS 450ツールは、柔軟性と拡張性を提供し、さまざまな顧客の要件を満たします。300mmウェーハなどの各種基板に対応可能で、幅広い生産自動化・制御機能を備えた設計となっています。全体として、CS450は信頼性が高く正確なフォトレジスト処理資産であり、高度な集積回路やその他の最先端の電子機器の製造に適しています。高解像度、柔軟性、拡張性を備えており、異なる本番環境の要件を満たしています。