中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269607 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、フォトレジストを基板に高精度に適用できるフォトレジスト機器です。このフォトレジストシステムは「、スリットスキャン」技術に基づいており、紫外線の硬化ビームをフォトレジストコーティングされた表面上に「レーキ」方式で移動させる。これにより、ユーザーはフォトレジスト層の深さと厚さを制御しながら、基板変位などの他の変数を排除することができます。TEL CS450フォトレジストユニットは、振動アイソレータ、スリットスキャンUV光源、X-Yスキャン動作ステージ、フォトレジストコントローラの4つの主要コンポーネントで構成されています。振動アイソレータは、アダプティブダンピングマシンを使用して、ツールの精度を最大限に高め、基板上を移動するときの応力を低減し、基板が損傷しないようにします。スリットスキャン紫外線は、フォトレジスト材料を活性化するために特定の波長（195-205nm）の光を生成する真空紫外線（VUV）レーザーです。この波長はx-yスキャン動作段によって表面に均等に広がり、望ましいフォトレジストの深さと層の均一性を実現します。フォトレジストコントローラは、スキャン速度、パス深さ、パス速度など、資産のパラメータを調整することができます。このコントローラはまた、ユーザーが希望の結果が達成されていることを確認するために、硬化しているフォトレジスト材料を監視することができます。また、オートキャリブレーション機能も備えており、キャリブレーション処理を自動化し、ユーザーはより迅速かつ効率的に作業することができます。東京エレクトロンCS 450は、高いフォトレジストの均一性、正確なコーティング厚、再加工率の低いことでも知られています。全体的に、CS 450は信頼性が高く効率的なフォトレジスト機器であり、ユーザーはさまざまな基板にフォトレジストを迅速かつ正確に適用できます。システムのスリットスキャン技術、高度なコンポーネント、および調整可能なパラメータにより、フォトレジストコーティングの正確なレベルを必要とする多くのアプリケーションに理想的なユニットです。このマシンは、ユーザーの正確な要件を満たす結果を生成することができます。