中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #118737 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipmentは、半導体産業における先進的な用途向けの包括的なフォトレジストコーティングおよび開発ソリューションです。このシステムは4つの異なるコンポーネントで構成されており、それぞれが一流のプロセス制御、精度、精度を提供するために協力しています。TEL MARK7フォトレジストコーティングモジュールは、ユニットの最初のコンポーネントです。2つの独立したコーティングヘッドと強力なポンピングマシンにより、薄いレジストフィルムの正確で再現性のある均一なコーティングが可能です。精密なフォースフィード分散ローラーにより、コーティング性能が向上し、高分子重量のコーティングが可能です。TEL PMS-003インテリジェントディスペンスユニットは、マーキング7コーティングモジュールの性能をさらに最適化します。2つ目のツールは、東京電子パターン生成モジュールです。最先端のダイレクトライトビームステアリング機構を採用し、幅広いパターン形状やサイズの生成が可能です。このモジュールは、1つのレジストアセットから別のアセットへのデータ転送を可能にする利便性も追加されており、ユーザーは複数のプロジェクト間で複雑なパターンを簡単に再作成できます。TOKYO ELECTRON MARK-7モデルの3番目と4番目のコンポーネントは、自動レジスト開発を提供します。TOKYO ELECTRON MARK7 Resist Development/Inspection Unitは、統合された目視検査モジュールによって形成されスキャンされるレジストパターンのライブイメージングを提供します。検査モジュールを使用してパターン欠陥を自動的に検出することができ、即時の是正措置を可能にします。また、レジスト開発・検査ユニットには超音波式洗浄装置を搭載し、レジストパターン補完の精度と透明性を高めています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Systemは、プロセス制御、精度、精度に優れた強力なツールです。4つのコンポーネントが協力して、比類のないフォトレジストコーティングと開発ソリューションを提供し、高度な半導体アプリケーションを可能にします。