中古 SVG 8100 #168381 を販売中

SVG 8100は、集積回路やその他のナノ構造の微細加工に使用される複雑なフォトリソグラフィ装置です。ステッパーフォトレジストシステムで、光を用いて微細なパターンや画像を基板に伝達する技術の一種です。このユニットは、ウェーハステージ、ステッパー、フォトマスク、光源の4つの主要コンポーネントで構成されています。ウェハステージは、フォトリソグラフィ工程中に基板を保持するために使用され、最も正確な動きを提供し、基板が光源と適切に整列していることを確認するように設計されています。ステッパーには、パターン生成と基板へのイメージングのための幅広いレベルに焦点を当てたレンズが装備されています。フォトマスクは、目的のパターンを基板に転送するために使用され、通常、トランジスタ、配線図、およびその他のマイクロエレクトロニクス構造などの画像で構成されます。最後に、光源は、目的のパターンを基板に露出するために必要なエネルギーを提供します。8100はEQCとして知られている洗練されたコンピュータ機械をプロセス全体を制御するのに使用します。EQCは、ソフトウェア駆動のステージ制御、高度な照明アセット、イメージング特性などの機能を提供するツールの重要なコアです。コンピュータベースの機械制御モデルは、最高レベルの精度とパターン忠実度を達成するために露出特性をカスタマイズすることができます。また、このマシンは高度に自動化されており「、最適化された自動プロセス最適化」を提供し、より少ない反復で最高の解像度と歩留まりを達成します。ユーザーは、独自の設計パラメータとビーム特性をプログラムして、カスタマイズされたパターンを達成することもできます。最後に、このマシンはマルチレイヤーイメージングが可能で、ユーザーはシングルレベルイメージングとマルチレベルイメージングの両方をサポートできます。全体として、SVG 8100フォトレジスト装置は強力で信頼性が高く、極めて技術的なシステムであり、微細構造を基板に大騒ぎしないように設計されています。非常に複雑で自動化されており、幅広いアプリケーションに特徴的に正確な結果を提供します。