中古 OKK OKK-604M #9097634 を販売中

OKK OKK-604Mは、幅広い用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高解像度、高スループット、およびピンポイント精度の組み合わせを備えています。実際、フォトレジスト材料の高速で正確なパターニングのために可視光と近赤外線の両方のレーザー源を使用する、非常に自動化された露光装置です。OKK-604Mにより、プロセス全体でさまざまな露出パターンと強度が可能になります。堅牢なビームデリバリーユニットは、セグメント化された顕微鏡の目的と調整可能なシャッターで構成されており、さまざまなレベルでの露出を高精度に制御できます。このマシンはまた、波長、スポットサイズ、パルス持続時間などのレーザーパラメータを特定のアプリケーションに合わせて素早く簡単に切り替えることができます。さらに、このツールは高度な温度制御メカニズムにより過熱から保護されています。OKK OKK-604Mにはウエハターナーが内蔵されており、フラットパターンだけでなく、レリーフパターン、カーブパターン、ステップパターンの処理も可能です。これは、アセットの大型機械設計と堅牢な構造により、安定したイメージングが可能です。また、独自のソフトウェアアプリケーションにより、コンタクトサイズから大きな投影までのマルチレベル露出が可能であり、ローデューティサイクルパルスシェーピング機能も備えています。OKK-604Mは、高度なイメージング機能、高いスループット、および低い開口損失により、優れた速度と精度を提供します。また、フラットパターンからリリーフパターンまで多種多様なパターニング技術により、柔軟性と再現性に優れています。要するに、OKK OKK-604Mは高解像度パターニング、高速スループット、ピンポイント精度の組み合わせを提供する効率的で信頼性の高いフォトレジスト機器です。堅牢なビーム配送システム、温度制御ユニット、自動ウェハターナーにより、幅広いフォトレジスト用途に最適です。