中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9212671 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARISは、FSI Ltd。が開発・製造する先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体加工アプリケーションで使用されるフォトレジストの高精度かつ高スループットパターニング用に設計されています。このユニットは、優れた精度と再現性で、50nmまでのサイズのパターンを生成することができます。このマシンは、フォトレジストのファインパターンを正確かつ高スループットで作成できる高度な成膜とパターニングプロセスで構成されています。プロセスの最初の段階は、ウェーハ表面にフォトレジスト層を堆積させることです。このフォトレジストはレーザーなどの光源にさらされ、フォトレジスト内の光活性成分は光エネルギーと反応してフォトレジストにパターン、またはパタリングを作成します。このツールは、光源にさらされていない領域のフォトレジストをエッチングするために溶媒を使用します。これにより、フォトレジストに希望のパターンが作成されます。FSI Polarisアセットには、蒸着およびパターニングプロセス用の高精度の自動スキャナが装備されています。このスキャナは、光源とフォトレジスト堆積物を正確に配置および制御することができます。このモデルには、パターニングプロセスの正確な制御を可能にする高度なソフトウェアも含まれています。このソフトウェアは、光強度、パターンサイズと形状、およびその他のパラメータの調整を可能にします。TEL Polaris装置には、露出したフォトレジストを処理するための幅広いプロセスと装置も含まれています。これらのプロセスには、フォトレジストの焼成と開発、露出したフォトレジストのエッチングとクリーニングが含まれます。このシステムは、スルーホールビアや多層パターンなどの複雑なパターンを簡単かつ正確に作成することもできます。結論として、Polarisユニットは、高精度で高スループットのフォトレジストパターンを生成するために設計された高度なフォトレジストマシンです。このツールには、高精度の自動スキャナ、高度なパターニングソフトウェア、露出したフォトレジストを処理するための幅広いプロセスと機器が装備されています。このアセットは、優れた精度と再現性で50nmまでの複雑なパターンを作成することができます。