中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9202286 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000フォトレジスト装置は、集積回路生産に使用される多機能、低容量のCASS/リソグラフィーシステムです。FSI Polaris 2000は、最大12インチワイドウェーハのスクライビングエリアカバレッジを備えたフルダイサイズのフォトレジストユニットです。このマシンは、プロセスの柔軟性と拡張性を念頭に置いて設計されており、多層デバイス製造のためのフォトリソグラフィープロセスを提供します。このツールは、フォトレジスト資産とComputar assisted photo-lithography （CASS）を使用して、1層のフォトレジストを多層デバイスに正確かつ正確に適用します。この機械には、6.5KW容量性電源、多波形ジェネレータ、および層の均一な硬化のためのデュアルゾーン加熱が装備されています。CASSとマルチゾーンにより、フォトレジストの正確なアライメント、解像度、露出が可能です。このモデルは、制御された環境でのフォトレジスト溶液の正確な分配を可能にします。2段階の分配プロセス；最初のステップは可変速度ディスペンスポンプを使用し、2番目のステップは調整可能なエアナイフを使用してターゲット層のフォトレジストの流れを形作り、制御します。また、調整可能なエアナイフを備えており、最大12インチのフローを可能にし、レートとボリュームコントロールも可能です。自動化されたポッドローディングおよびアンロード機能により、基板のローディング/アンロードを完全に自動化し、他のFSIシステムと統合可能な統合を提供します。また、デジタル画像解析、自動膜厚測定、データ再現性の向上など、さまざまな機能強化オプションを提供します。Polaroid 2000装置は12秒未満からほぼ12分のプロセス時間範囲が可能であり、0。3ミクロンと600ミクロンの層の厚さを提供することができます。このシステムは、レイヤ間から6nm以内のフィルム再現性を実現し、最大200nmの視野位置を備えています。要約すると、TEL Polaris 2000フォトレジストユニットは、集積回路生産に使用される多機能、低容量のCASS/リソグラフィーマシンで、集積電源、マルチウェーブフォームジェネレータ、デュアルゾーン加熱、自動ポッドローディングを備え、ウェーハスクライブの性能と精度を向上させます。このツールは幅広いプロセス時間を持ち、精密な解像度と再現性を実現します。