中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9167965 を販売中

FSI/TOKYO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000フォトレジスト装置は、半導体および集積回路製造に使用されるハイエンドのフォトリソグラフィーツールです。集積回路部品に精密な回路パターンを作成することができます。高解像度プロジェクションレンズ、高速ステッパー、クォーツレーザー光源、独自の自動露出ユニットを備えています。この機械は、高い歩留まりと生産性を実現しながら、サブミクロンレベルの分解能を発揮します。優れた光学系は、追加のコンポーネントを必要とせずに、より小さな機能の直接イメージングを可能にします。このツールには、複雑なパターンを作成する際に最適なレベルの精度を達成するための高度な焦点距離制御アセットが含まれています。FSI Polaris 2000は、高精度と高速ステッピングモータの両方を備えており、ユーザーは最高の結果を提供する露出パラメータを選択することができます。スプレーとスピンコーティングプロセスの両方をサポートし、製造工程で正確な層の厚さを提供します。この装置には、優れたマイクロフォーカスと高い露光性能を提供する水晶レーザー光源も含まれています。TEL Polaris 2000独自の自動露光システムは、露光時間を短縮し、歩留まりを最大化するように設計されています。自動露出ユニットは、高度なアルゴリズムを使用して、特定の基板に最適な露出パラメータを決定します。また、このマシンはプロセスに依存する変数を自動的に調整し、時間の経過とともにツールパラメータのドリフトにも対応します。このアセットには、操作が簡単な直感的なタッチスクリーンインターフェイスが含まれています。TOKYO ELECTRON POLARIS 2000は、幅広い動作範囲を持ち、最大0。1ミクロンの機能を実現します。このモデルは狭いスペースに収まるように設計されており、さまざまなワークセルレイアウトに合わせてさまざまな構成で利用できます。この装置は、幅広いフォトレジスト材料と互換性があり、熱システムと非熱システムの両方で使用できます。Polaris 2000は、多種多様な半導体および集積回路アプリケーションに適した高度なフォトリソグラフィーシステムです。高解像度プロジェクションレンズ、高速ステッパー、クォーツレーザー光源、自動露出ユニットは、ユーザーがそれぞれの業界で優れた精度、速度、歩留まりを提供します。