中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158303 を販売中

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000
販売された
ID: 9158303
Cluster spray coating / processing system Computer control Staubli unimaton robotic arms Nesting stations Chill units.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000は、次世代の高度集積回路製造用に設計されたフォトレジスト加工装置です。フォトレジスト加工は、感光材料の層にパターンを作成するために使用されるため、集積回路の製造に不可欠な技術です。FSI Polaris 2000は、フォトレジストコーティングの均一性を促進するために、高度な両面スピニングウェハホルダーを装備しています。このシステムには、ウェット処理ステーション、効率的な製造のための自動モジュール洗浄、および自動反射防止コーティングも含まれています。このユニットは、正確なパターン登録と高解像度の光学性能を確保するために設計されており、半導体ウェーハ上で複雑な設計を正確に複製することができます。さらに、プラスとマイナスの両方のトーン材料を含む複数のタイプのレジスト材料を処理することができ、開発と生産の両方で簡単に使用できます。このツールには、特定の顧客のアプリケーションニーズに合わせて、ミックスモジュールとマッチモジュールを組み込む機能もあります。ミキシングモジュールとマッチングモジュールには、熱温度スキャン、デザインルールチェッカー、平面処理モジュールが含まれます。このアセットは、高速かつ正確なフォトレジスト処理機能に加えて、生産性を向上させるための革新的なユーザーインターフェイスも備えています。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、手動でバランスを調整することなく、レシピを素早くカスタマイズし、プロセスパラメータを迅速に調整できます。最後に、TEL Polaris 2000には、生産前と生産中に機器が適切に動作するようにするためのセルフテストモデルが内蔵されています。このシステムには、自己診断モジュール、メンテナンスサイクルモジュール、および持続的な品質保証モジュールが含まれています。このような包括的なユニットは、ユーザーがフォトレジスト製造プロセスを最大限に活用し、一貫した高品質の歩留まりを確保するのに役立ちます。
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