中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158302 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000は、高度な微細加工用途向けに設計された高精度フォトレジスト装置です。このシステムには、性能と出力品質を向上させるために設計された多数の機能が組み込まれており、最先端の半導体プロセスの要件を満たすことができます。FSI Polaris 2000には、深い紫外線光源と低温ベーキングチャンバーが装備されています。これにより、処理中の粒子や汚染レベルが低く、正確な光の露出時間が保証されます。高精度のマスクアライナーも付属しており、複雑なパターンや機能の正確な生産を保証します。TEL Polaris 2000では、正確かつ再現性のある結果を得るために、フォトレジストプロセスのパラメータを正確に制御できる機能を多数搭載しています。これらには、露出と開発プロセスのためのユーザー定義のレシピ、ケミカルバス用の正確なマスフローコントローラ、およびユニットを長時間にわたって最適に動作させるための自動メンテナンスルーチンの配列が含まれます。TOKYO ELECTRON Polaris 2000に搭載された熱制御機は、高精度かつ高精度に設計されています。これにより、フォトレジストベーキングプロセス中に一貫した温度とフラット温度プロファイルが保証され、均一な結果を得るために重要です。内蔵の安全性と人間工学に基づいた機能により、オペレータの安全性と快適性を確保します。このツールには、化学バスレベルの自動監視、自動通気、温度安全インターロック、およびユーザーフレンドリーなオートメーションコンポーネントが含まれています。全体として、Polaris 2000アセットは、高度な微細加工プロセスに最適なソリューションです。特徴の組合せはそれを非常に精密、反復可能にし、安全および人間工学的特徴は使用することが安全、快適であることを保障します。