中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9205483 を販売中

FSI MERCURYは、ミクロンレベルのフィーチャーサイズ解像度のために設計された先進的なフォトレジスト機器です。高感度、高解像度のシステムで、高い生産精度と再現性を備えたフォトレジストの微細なパターニングを可能にします。MERCURYユニットは、リソグラフィ装置、フォトプロジェクター、精密石英ステージなど、いくつかの異なるコンポーネントで構成されています。リトグラフィックマシンは、デジタル符号化された光学系を使用して、設計された回路に正確にマッチしたさまざまな画像サイズを提供する機械内のコア技術です。フォトプロジェクターは、洗練されたアルゴリズムを使用して設計イメージを水晶ステージに高解像度で投影し、フォトレジストを基板に正確にパターン化することができます。水晶ステージは、FSI MERCURYツールの不可欠なコンポーネントでもあります。高精度な反復可能な動きを提供します。これは、フォトレジストの露出でフィーチャーサイズを制御するために重要です。さらに、クォーツステージは、エアベアリングに取り付けられたフレーム上に構築され、優れたモーションコントロールと安定性を提供します。水晶ステージにより、異なるフォトプロジェクタや基板にわたって高い再現性と精度を実現します。FSI MERCURYのもう1つの利点は、高速プロトタイピングのために最大20個のプロセスレシピを一度に保存できることです。これにより、新しいデバイスや生産プロセスの迅速な開発が可能になります。最後に、MERCURYには、生産における高い歩留まりを確保するためのさまざまなサポートと監視ソフトウェアがあります。このソフトウェアは、生産コストを最小限に抑え、スループットを向上させ、詳細なプロセス品質情報を提供するのに役立ちます。さらに、安全インターロック資産によって保護されたクラス1Mレーザーで、安全にモデルを動作させることができます。要するに、FSI MERCURYフォトレジスト装置は、高精度パターニングとサブミクロンのフィーチャーサイズ解像度に優れたソリューションを提供します。自動化されたツール、石英ステージの高い慣性、堅牢な安全インターロックシステムにより、多くのマイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適です。