中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9167799 を販売中

FSI MERCURYは、Fine Line Imaging （FLI）によって開発・製造されたフォトレジスト機器です。高精度・高分解能を必要とする高精度な用途に使用されます。このシステムは、高度なソフトウェアを使用して幅広い材料と抵抗を処理するように特別に設計されています。MERCURYは、薄膜成膜から接着抵抗まで、あらゆるフォトレジストプロセスにおいて可能な限り最良の結果を出す完全自動化ユニットです。これは、必要最小限の露光量を制限することができます統合フォトレジストマシンが装備されています。また、フォトレジスト露光レベルの正確な露出と調節を可能にする高度で高解像度のイメージングツールも備えています。これにより、結果は常に正確で再現性が高く信頼性が高いことが保証されます。FSI MERCURYは汎用性が高く、幅広い用途に使用できます。この資産は、幅広い基板上の電子機器、薄膜、膜の印刷など、中規模から大規模なリソグラフィ用途に使用できます。また、フォトレジスト素材をエッチングする機能や、フォトレジストの深いUV硬化機能も備えています。MERCURYは、SU-8、 SU-18、 HSQなどのさまざまなフォトレジストにも使用できます。FSI MERCURYモデルは、優れた性能と費用対効果を提供するように設計されています。その使いやすさは、オペレータが装置の設定と処理パラメータをすばやく調整するのに役立ちます。このシステムはメンテナンスを最小限に抑える必要があり、いくつかの簡単な調整で幅広いプロセスで使用できます。MERCURYは、生産環境で他のシステムと統合することもでき、結果精度を向上させることができます。すべてにおいて、FSI MERCURYはフォトレジスト用途向けの主要な光学イメージングユニットであり、手頃な価格で優れた精度と精度を提供します。薄膜成膜から粘着性、深度UV硬化まで、幅広いプロセスに最適です。機械の柔軟性により、小規模および大規模アプリケーションの両方に適しており、費用対効果と効率的な結果を得ることができます。