中古 DNS / DAINIPPON SK-2000 #118481 を販売中
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販売された
ID: 118481
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Spin coater / Developer DUV track system, 8"
Wafer flow direction: L-type
Wafer type: Notch
IF-B
Spinner unit configuration:
(2) Coaters
B-ARC (2) Coaters
(3) Developers
Indexer:
Left type
Wafers: SEMI Standard wafers / Notch type
Standard type
(4) Uni cassettes
Coater:
SC1 (Unit 3) & SC2 (Unit 4):
Includes:
Cups
EBR Function
Resist lines: 8 Line
Resist pump: PDS-105G-KPV4
Cup rinse function
Back side rinse
Cup rinse
Pot rinse
EBR (Edge bead removal)
Prewet function
SC3 (Unit 5) & SC4 (Unit 6):
Cups: 1
Includes:
EBR Function
Resist pump: PDS-105G-KPV4
Resist lines: 4 Line
Cup rinse function
Back side rinse
Cup rinse
Pot rinse
EBR (Edge bead removal)
Prewet function
Bake:
HP: (6) Units (8, 9, 11, 12, 17, 18)
RHP: (8) Units (25, 26, 28, 29, 31, 32, 35, 36)
CP: (7) Units (7, 10, 16, 24, 27, 30, 34)
AHL: (3) Units (13, 14, 15)
EEW: Unit (33)
Developer:
SC1 (Unit 3) & SC2 (Unit 4):
Cups
Developer number nozzle
DIW Rinse nozzle
Back side rinse line
Flow meters with sensor: DEV, DIW1, DIW2, Back-side rinse, ORG, FWD
Includes:
Dev1
Prewet
DIW1
Back side rinse
TR Includes:
TR1 Arm
TR2 Arm
TR3 Arm
Others:
Thermo controller model: CET-CU, Mass 7kg
THC Model: SPC-2313-UC-A
CP Controller model: FRD-A200-UC
HMDS Supply type: Quart bottle to buffer tank
Thinner supply type: Canister tank
Developer supply type: Facility supply
EEW:
Unit (33)
Lamp house type with lamp house
Miscellaneous:
Signal tower lamp: 3 Color (Red, orange, green)
Sub module configuration:
Source bottle cabinet
SC Cabinet
ETU Cabinet
Controller cabinet
IFB ACU Cabinet
Input power supply box
Main gas valve close
Gas (Air, N2) line purge
Chemical (Developer, DIW) line purge
Drain PCW end capping
Gas line (N2) end capping
Chemical (Developer, DIW) line end capping
Spin unit (Coater & developer) exhaust line caping
Bake unit exhaust line caping
Leak check
Main power: 3 Phase, 200 V, full load 20.44 kVA, 59A
50/60 Hz, 3 Wires and GND/PE
Rating 400A, AIC 65kA, motor 8A
2003 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-2000は、マイクロファインパターン処理用に開発された高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、完全な登録と露出制御を提供するように設計されたユニークで高度な精密カメライメージングユニットを使用しているだけでなく、幅広いフォトレジスト材料を使用することができます。最適な露出と最大の柔軟性のために、接触ツールと投影ツールの両方が利用可能です。高度な接触露出ツールは、非常に高品質の画像登録を生成し、フォトマスクの表面全体にわたって完全に均一な露出を提供します。投影露光ツールは、高精度光学機械を使用することで微細なデバイスの歪みを低減するように設計されており、最終的に露光精度、直線性、歩留まりを向上させます。また、サブミクロン分解能、0。15ミクロンの最小露光均一性、露出安定性制御機能などの高度な機能も備えています。サブミクロン分解能により、非常に小さなリソグラフィ機能を優れた精度とディテールで実現できます。露出安定性制御機能により、露出レベルだけでなく、一定の結果を得るために重要な時間にも正確に調整できます。このアセットは、超高温露光の高速モードを誇り、スループットを向上させ、プロセス時間を短縮します。このモデルのもう1つの特徴は、単一のソースから露光波長を切り替えることで、複数の感度を異なる露光タイプに利用できることです。DNS SK2000フォトレジスト装置について、この設計は温度変化に対する強い堅牢性を提供し、粒子を大幅に低減し、全体的な露出信頼性を向上させます。全体的に、このシステムは、超微細パターンを必要とするリソグラフィ用途に最適なソリューションを提供します。
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