中古 CENTROTHERM E2000 HT 410-4 #9250379 を販売中

CENTROTHERM E2000 HT 410-4は、ウェーハ製造における真空熱処理に使用される最先端の拡散炉およびアクセサリです。この炉は真空環境での使用を想定して設計されており、真空チャンバーと低気圧の生成と維持が可能な真空装置を備えています。CENTROTHERM E2000HT 410-4は、耐火予熱ゾーンとグラファイト加熱素子を使用し、ウェーハ温度を高速かつ正確に制御します。拡散ゾーンは、均質で最適な温度プロファイルを確保するためにガスの分散流量を提供する垂直水晶チューブで構成されています。E2000-HT 410-4には、加工室内で最適な真空圧を維持する精密高圧コントローラが装備されています。また、動的圧力監視システムを備えており、問題解決とパフォーマンス最適化のための正確なパフォーマンスデータを継続的に記録します。CENTROTHERM E2000-HT 410-4は、最大4つのウェーハを一度に処理することができ、超高精度と低温動作の両方のために設計されています。25°Cから1600°Cまでの温度が可能で、従来の耐火設計よりも720°Cまでの正確な温度制御が可能です。このフレキシブル炉はまた、その多くのアプリケーションをサポートするためのアクセサリーの広い範囲が付属しています。これらには、真空/ガス混合ユニット、背面充填ステンレスベローズ、マルチゾーン温度コントローラ、He-N2ガス流量制御、高度な絶縁機械、マルチゾーン温度監視ツールが含まれます。さらに、炉内にはグラファイトサセプター、基板ホルダー、ステージ全体に均一なガス分配用の不活性ガス供給アセットが付属しています。E 2000 HT 410-4は信頼性が高く、高性能な拡散炉とアクセサリーで、ウェハ製造における真空熱処理に関しては、信じられないほどの精度と制御を提供します。超高精度を実現するための優れたツールであり、さまざまなプロセスや温度に対応できるため、熱処理を最大限に活用できます。