中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9238497 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは半導体産業で使用するために設計された先進的な露光装置です。このシステムは、高品質の生産結果を得るための重要な露出パラメータを正確に制御します。ウェーハ、レイヤー、サンプルの高速処理用に設計されており、倍率、フォーカス、用量、エネルギーなどの重要なパラメータを正確に制御できます。このユニットは、統合された電動制御機械と、サンプルアライメントとハンドリングを正確に制御するモーター付きサンプルホールディングツールを備えており、プロセス関連の問題を最小限に抑えながら迅速なターンアラウンドを可能にします。高いスループット、正確なサンプル位置決め、正確な線量測定と制御により、アセットは信頼性の高い再現性の高いプロセスを保証します。FUSION 200 PCUには、自動ウェーハやサンプルローディングおよびアライメントルーチン、線量制御ルーチン、自動データ収集および分析ルーチンなど、多くの自動化機能があります。これらの機能により、重要なプロセス変数をより適切に制御し、アプリケーションのモデルをカスタマイズできます。この装置は、4インチから1ミクロンまでの幅広いウェーハおよびサンプルサイズに対応できます。また、上面と下面の両方でサンプルを処理する機能も備えています。このシステムは堅牢なパフォーマンスを提供し、迅速な処理時間と正確な結果を提供します。さらに、そのソフトウェアは、自動ウェーハやサンプルの処理とアライメントのためのシステムの容易な統合を可能にします。AXCELIS 200PCUは、電子、X線、可視光、イオンビームなど、さまざまな露光源で使用できるように設計されています。同時表示に対応できるため、複数のレイヤーを同時に処理できます。このマシンには、精度と再現性を提供する多軸サンプル位置決めツールが含まれており、露光プロセス中にサンプルを正確に位置付けることができます。この資産は、ユーザーを保護するための安全機能も備えています。電源サージが検出されたときにモデルをシャットダウンする低電力の安全スイッチと、必要に応じて機器を迅速にシャットダウンできる緊急停止スイッチを備えています。全体として、AXCELIS/FUSION 200PCUは、プロセス関連の問題を最小限に抑えながら、重要なパラメータを正確に制御できる高度な露出システムです。高いスループットと正確なデータ収集と分析ルーチンにより、半導体業界にとって素晴らしいツールとなります。