中古 ASML XT 1400F #9232233 を販売中

ASML XT 1400Fは、お客様に比類のない精度とパフォーマンスを提供するために設計された最先端のウェーハステッパーです。自動化されたシステムは、最新の半導体製造アプリケーションの最も厳しいパターニング要件を満たすように設計されています。ウェーハステッパーには、15 kV電子ビーム（e-beam）ジェネレータと統合コンピュータ支援設計（CAD）が装備されています。ウェーハをステージに降ろし、eビームの0。2ミクロンの開口部を通してイメージします。この電子ビームは、シリコンウェーハ表面に向けられた微細な焦点イオンビームを生成します。吸収された電荷は、コンピュータによって正確なパターンに変換されます。XT 1400Fは0。26 x 0。23ミクロンのピッチサイズで、最大スキャン速度は80,000ライン/秒です。それは改善された直線性、低いゆがみおよび低い非繰り返し可能性と設計されます。ウェーハステッピングシステムは、最適な温度を維持するために冷却システムで設計されており、最高品質のパフォーマンスを保証します。ASML XT 1400Fは、高度に最適化されたレンズ、統合されたイオン抑制と強化された照明制御を備えています。これは、ステッパーをカスタマイズし、ワークフローの効率を向上させるためのアプリケーション固有のユーティリティのスイートをユーザーに提供します。また、ウェハステッパーには堅牢なデータロギングインターフェイスと重要なエラー検出機能が装備されています。XT 1400Fは、最新のウェーハステッパー技術を表し、お客様に高精度で信頼性の高いパフォーマンスを提供します。高度な機能と機能を備えたASML XT 1400Fは、お客様が半導体パターニング技術の最前線にとどまることを保証します。