中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9242165 を販売中

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702は、電子部品の効率的かつ正確な処理のために設計されたフォトレジストシステムです。このユニットは、マルチゾーン、3段階のスピンプロセスを使用して、幅広い機能と基板上の均一なフォトレジストフィルムの信頼性と再現性を実現します。18mmから600mmまでのウエハ加工が可能です。ASSI SV-702は、精密スピンマシンと静的バイアス電極を組み合わせることで、独自の基板処理方法と特徴を提供します。バイアス電極は、均一なスピン速度と静電場を可能にし、可能な限り最高のスピン均一性を可能にします。このツールは、最高レベルのスループットと精度を提供するように設計されており、露光時間は2秒以下で、高い均一性とスピンパターンの再現性があります。アセットは、正と負の両方のフォトレジスト材料で使用できます。加熱レジストチャンバーを使用して、フォトレジスト材料を加熱し、基板に均等に適用します。加熱されたチャンバーは均一な温度プロファイルを確保し、一貫した均一なスピン性能を実現します。これにより、ドリフトを排除し、プロセスのエラーを排除します。ADVANCED SPIN MODEL INC SV-702は、空気圧駆動装置を使用してウェーハを回転させ、均一な膜厚と特徴配置を保証します。また、スピンドル空気圧装置を搭載しており、制御されたレジストアプリケーション速度を実現し、高いフィルム制御を可能にしています。また、自動化されたプロセス制御を備えており、オペレータはリアルタイムでパラメータを監視および調整することができます。さらに、このマシンは、詳細な後処理分析を可能にするさまざまなデータロギング機能を提供しています。SV-702には、オンザフライで最終製品の検査を可能にする統合ビジョンツールも含まれています。ADVANCED SPIN ASSET INC/ASSI SV-702は、幅広いファブリックを確実かつ正確に処理できるオールインワンフォトレジストモデルです。その精密スピン装置、静的バイアス電極、加熱レジストチャンバー、空気圧ドライブシステム、スピンドル空気圧および自動化されたプロセス制御は、業界で比類のない均一なフィルム配置と精度と再現性のレベルを可能にします。