中古 ABM ABM-60 #9222282 を販売中

ABM ABM-60は、VLSI回路の製造に使用されるフォトレジスト装置です。電子ビームを利用してフォトレジストを露出させ、基板上にナノスケールのパターンを作成します。電子ビームは、プログラム可能な偏向システムによって基板を介して誘導され、x、 y、およびz方向にビームを正確に移動させ、基板にかなりの量の電流を適用するように制御することができます。これにより、非常にタイトな公差を持つフィーチャーの正確なパターン化が可能になります。ABM-60で使用されるフォトレジストは、高用量の電子露出を処理するために特別に設計されており、製造プロセス中の化学エッチングと酸化の両方に耐性があります。さらに、さまざまなフォトレジスト素材を組み合わせて使用し、幅広いデザイン機能を作成できます。フォトレジストは、さまざまな化学処理を使用して開発することもできます。これにより、ユーザーは硬化時間を制御し、複雑な形状を作成することができます。ABM ABM-60には自動化されたソフトウェアパッケージも含まれており、電子ビームの特徴とパラメータをユニットにプログラミングして処理することができます。これは、産業ユーザーがリソグラフィをカスタマイズするための柔軟なプラットフォームを提供し、サイクル時間を短縮し、再現性を保証するのに役立ちます。さらに、ABM-60は、クリーンで粒子制御された環境を提供し、フォトレジストの加熱を支援する2つの機能を提供する真空チャンバーを備えています。このユニットは、直径8インチ、深さ17インチまでの基板に対応でき、大規模かつ複雑な回路に対応できます。ABM ABM-60は、高精度の結果、自動化されたソフトウェア、および堅牢な構造により、VLSI回路の製造に理想的なマシンです。航空宇宙産業や半導体産業では、機能を高精度に加工する必要があります。