中古 KLA / TENCOR SP3 #9183008 を販売中

KLA / TENCOR SP3
ID: 9183008
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 1998
Wafer particle counter, 12" 2012 vintage.
KLA/TENCOR SP3は半導体産業のために設計されたマスクおよびウェーハの点検装置です。このシステムは、ウェーハ、マスク、レンズの検査プロセスを自動化するために、高性能光学およびイメージングシステムを利用しています。このユニットには、光学プラットフォーム、画像解析およびイメージングコンポーネント、高度なタッチスクリーンデータレビューなど、いくつかのコンポーネントが含まれています。KLA SP-3は、最大13Kピクセルの解像度を持つ高解像度のフルチャージデバイスイメージングCCDを中心に構築されており、ウェーハ、マスク、レンズなどの高解像度画像を生成します。TENCOR SP 3は、デバイスの高品質な画像をキャプチャするだけでなく、欠陥画像をキャプチャしたり、参照サンプルとのダイバイ比較を行うこともできます。このようにして、マシンはウェーハのパフォーマンスに影響を与える可能性のあるあらゆる欠陥の位置、タイプ、サイズを検出できます。このツールには強力なイメージングおよびデータレビューインターフェイスが装備されており、トレンドプロットやCDマップの両方を含むウェーハのパフォーマンスをレビューおよびコメントするための真のグラフィカル環境をユーザーに提供します。この高度な技術には、SmartDefect Recognitionや欠陥分類などの使いやすい機能が含まれており、欠陥特性を迅速に特定および分析するのに役立ちます。このアセットには、欠陥ライブラリと高性能なソフトウェアアルゴリズムも内蔵されており、ユーザーはウェーハとマスクを迅速かつ正確に分析できます。KLA/TENCOR SP 3は、高度なイメージング技術と使いやすいタッチスクリーン機能、そして直感的なユーザーインターフェイスを組み合わせています。このモデルの便利なユーザーインターフェイスを使用すると、生産ライン内のあらゆる場所から、あらゆる規模の検査結果にすばやくアクセスして、わかりやすいグラフィカルなプレゼンテーションを行うことができます。機器に含まれているすべてのコンポーネントは、安全性と精度のための業界標準に完全に準拠しています。KLA SP3は、ウェーハ、マスク、レンズ部品の欠陥を検出、分析、修復する最も効果的で正確で信頼性の高い方法を半導体メーカーに提供するために設計された画期的なマスクおよびウェーハ検査システムです。このユニットは堅牢なイメージング機能とデータレビュー機能を備えており、欠陥特性に関する詳細な情報を提供することで、最大のコスト削減とデバイス性能の向上を実現します。
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