中古 KLA / TENCOR SFS 7700 #9137304 を販売中

KLA/TENCOR SFS 7700は、半導体ウェーハ上のさまざまな製造パラメータと欠陥タイプを測定および分析するために設計された強力なウェーハ試験および計測機器です。自動化された光学検査とプロセス測定を使用して、ウェーハの性能を包括的に把握します。このプラットフォームは、高度な光学、アルゴリズム、およびセンサーを使用して、ウェーハおよびリソグラフィーフィルムの物理的および電気的特性を測定します。KLA SFS 7700には、ハードウェアとそれを補完するソフトウェアスイートの2つの駆動コンポーネントがあります。プラットフォームのハードウェアは、8736独自に制御可能な上面ピクセルと下面ピクセルで、最大直径300mmのウェーハをイメージングすることができます。また、高速ステージを備え、ウェーハを正確に移動させ、迅速なウェーハスキャンを可能にします。このユニットには、ユーザーインターフェイス、完全デジタル顕微鏡、および非接触ディスプレイが含まれています。このマシンは、ウェーハを分析し、潜在的な欠陥や不規則性を検出する一連のソフトウェアツールを備えています。ソフトウェアスイートには、ラインウェーハ機能ツール、金属層検査ツール、カラースクラッチ検出ツール、粒子検出ツールなどがあります。これらのツールは、ウェハの厚さ、反射率、線幅の変化、フィルムの均一性など、さまざまな製造パラメータを分析します。このツールは、統合された自動欠陥診断アセット、シャドウおよび粒子イメージングモデル、オーバーレイ測定装置、およびフラットネス測定システムも提供します。TENCOR SFS 7700は、カスタマーサポートとトレーニングを含む包括的なサービスパッケージも提供しています。これには、ユニットのセットアップ、メンテナンス、およびトラブルシューティングを支援するために利用可能なテクニカルサポート、トレーニング、およびアプリケーションエンジニアのチームが含まれます。追加のサポートは、さまざまなドキュメントとオンラインリソースを通じて提供されます。全体として、SFS 7700は、正確で信頼性が高く、再現性のある測定と分析を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測機です。ウェハベースの幅広い製品の製造・製造に適しています。