中古 KLA / TENCOR SFS 6420 #9017662 を販売中

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KLA / TENCOR SFS 6420
販売された
ID: 9017662
ウェーハサイズ: 8"
Particle counter, 8".
KLA/TENCOR SFS 6420ウェーハ試験および計測システムは、高度な半導体技術デバイスを測定および分析するための最先端のシステムです。KLA SFS 6420は、堅牢なプロセス制御と歩留まり管理を実現するさまざまな検査ツールを提供する統合ハードウェアおよびソフトウェアプラットフォーム上に構築されています。TENCOR SFS 6420は、300mmウェーハ検査ツールを使用して、欠陥検出、トポロジカル機能、マスクアライメント、オーバーレイ精度など、さまざまなパラメータを測定および分析します。ロボットアームに搭載された200 μ mから12。6 μ mまでの厚さのウェーハを分析し、ゾーニングと移動を行うことができます。最先端の光学技術を活用して、SFS 6420は高解像度のダイマップやその他のトポロジ特性を評価することができます。KLA/TENCOR SFS 6420の欠陥検出技術は、転位、粒子、粒子、不規則な形状のピットまたは穴などの関心のある特徴を検出して識別することができ、肉眼では解決できないほど小さい特徴があります。また、高感度なため、加工時に発生する微粒子の検出も可能です。KLA SFS 6420は、ウェーハ表面の微細さをキャプチャし、欠陥のサイズと密度のさらなる分析と評価を可能にします。マスクのアライメントとオーバーレイ精度を測定する場合、TENCOR SFS 6420は強力なオーバーレイ計測を使用して、同じウェーハ上または2つの異なるウェーハ間の2つのフィーチャー間のアライメントのパラメトリック変動を評価します。従来の光学顕微鏡では見えない、異なる構造間の微妙なずれを検出することができます。これにより、レイヤー間のバリエーションを即座にフィードバックし、故障解析や歩留まり改善のための処理上の問題を特定するのに役立ちます。SFS 6420のソフトウェアプラットフォームであるWinSFSは、レシピパラメータの設定から測定結果の表示まで、測定プロセスを包括的に制御します。また、さらなるデータ処理のためのさまざまなデータ収集および分析ツールも提供しています。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ウェーハ検査や計測ニーズに簡単にアクセスできます。要約すると、KLA/TENCOR SFS 6420ウェーハテストおよび計測システムは、高解像度と精度のウェーハを分析することができる高度な測定ツールです。包括的なソフトウェアプラットフォームは、検査および計測プロセス、欠陥分析、歩留まり改善を制御するためのユーザーフレンドリーなエクスペリエンスを提供します。
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