中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9122626 を販売中

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ID: 9122626
ウェーハサイズ: 2"-8"
Particle inspection system, 2"-8" Model no: 249505 Particle sensitivity: 0.15 um 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、最先端のウェーハ試験および計測機器です。Surfscan 7600は完全に自動化されたツールであり、ウェーハの製造や先進的なR&Dアプリケーションのための世界クラスのパフォーマンスと包括的なプロセス制御を提供するように設計されています。7600は、優れたウェーハ検査、正確なウェーハトポグラフィ測定、高スループット、完全なデータ整合性を可能にする強力で堅牢な光学設計を備えています。このシステムは、ステップベースの計測構成を提供し、プロセス開発における制御と柔軟性の拡大を可能にします。多用途な光学プラットフォームは様々な光学系を提供し、欠陥、寸法検査、臨界寸法パターンの粗さなど、さまざまな分野で効果的な分析を可能にします。さらに、Surfscan 7600には、検出された欠陥を正確に分離、分類し、即座にフィードバックするデータ処理ユニットが内蔵されています。このマシンには、複数の波長光学イメージング、フルフィールド特性評価、アダプティブゲイン調整、高速画像相関、および強化された欠陥検出機能など、いくつかの処理機能が組み込まれています。さらに、7600は既存のプロセス機器とインラインで統合することができ、さらなるプロセス制御とカスタマイズを可能にします。ツールから得られたデータは、直感的でわかりやすい形式で表示されます。Surfscan 7600は包括的なウエハ解析が可能であり、高度な研究開発において貴重なツールとなっています。その測定機能の範囲は、光学プロセスを正確に制御することができます。また、この資産は信頼性が高く、堅牢であることが評価されており、その能力は業界の多数のウェーハ製造事業に不可欠です。
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