中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9065953 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、ウェハテストと計測のためのツールです。これにより、ユーザーは高度な欠陥検出、マッピング、およびレビューを実行して、リソグラフィープロセスの認定と最適化をサポートし、次世代リソグラフィー技術の欠陥署名分析をエンジニアリングできます。オプティカル・クリティカル・ディメンション（OCD）、ウェーハ表面トポグラフィ（3D/2D）測定、欠陥レビュー、光学計測など、幅広い検査を行うことができます。KLA 7600 Surfscanはフォーカスアライメントを自動化しているため、45nmおよび90nmの両方のノードウェーハで、高いスループットで優れたOCDスキャン品質を実現できます。また、自動検査システムを搭載しており、特許取得済みのSmart Modeアルゴリズムを使用して、2nm間隔でウェーハから高解像度の欠陥キャプチャを提供します。ダイナミックフォーカスセンサーは、スキャンの進行に応じて常にフォーカスを監視および調整するセンサーを使用して、スキャン全体のフォーカス安定性を向上させるために使用されます。TENCOR 7600 Surfscanには、異なる形状とサイズの欠陥を検出して画像を作成するLitescanツールがあります。このツールは、ウェーハを照らす赤外線レーザーを使用し、ウェーハに汚染や損傷のない画像をキャプチャします。また、超微細な欠陥を検出できるMicroMapper機能も搭載しています。各ウェーハの欠陥データはデータベースに保存され、3Dマッピング機能を使用して他のウェーハと比較することができます。PROMETRIX 7600 Surfscanはいくつかの技術を組み合わせており、最も強力なウェーハテストおよび計測システムの1つです。詳細な欠陥解析、洗練されたピクセルレベルのスキャン、統計データ分析、欠陥レビューを提供できます。この機能の組み合わせにより、ユーザーは不具合の種類を正確かつ効果的に特徴付けることができ、プロセスの改善が可能になります。