中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9295095 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、ウェーハ表面および中間レベルの機能を正確に測定できるように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、実験室での使用と大量生産の両方において精度と効率を確保するのに役立つ幅広い機能と仕様を提供します。Surfscan 6420ユニットには、ステッチを利用したブライトフィールド顕微鏡が装備されており、ウェーハの全画像を作成し、表面のより包括的なビューを提供します。この顕微鏡は、最大1,000,000ピクセルの解像度と最大1200µmの被写界深度の画像をキャプチャします。高度なイメージングマシンで、焦点イオンビームイメージング（FIB）による高レベル光学解析を提供し、高速かつ正確な測定を可能にします。このツールは、画像解析と欠陥検査のためのソフトウェアスイートを介してデータ分析と欠陥のレビューも可能です。ソフトウェアを使用すると、ユーザーは複数のデータファイルにアクセスし、欠陥特性に関する自動分類、レポート生成、統計レポートなどの分析を実行できます。Surfscanアセットには、ナノメートルの表面トポグラフィ機能を高精度に測定できる3D表面計測モジュールも含まれています。レーザー干渉計を使用して、さまざまな基板の表面高さを正確に測定します。このモデルは、オーバーレイ、クリティカル寸法（CD）、ウェーハ平坦度、輪郭高さマップの測定も可能です。さらに、インタラクティブなユーザーインターフェイス、地図表示、自動ジョブ送信、データ比較、仕様外の検出、アルゴリズムベースの欠陥分類などのハードウェアおよびソフトウェア機能を備えており、精度を向上させています。これらの機能により、半導体およびエレクトロニクス業界のお客様の効率的かつ正確な生産ライン分析が可能になります。KLA 6420 Surfscanは、幅広い機能、信頼性の高い精度、直感的なユーザーインターフェースを備えており、ラボや生産ラインの詳細なウェーハ表面解析を支援します。高度なイメージングシステム、信頼性の高い計測機能、包括的なソフトウェア機能を備えたSurfscanは、ウェハテストと計測において信頼性が高く強力な選択肢です。