中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP #9177851 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP
販売された
ID: 9177851
ウェーハサイズ: 12"
Deep trench etch, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Hart APは、半導体製造用途において優れた性能を発揮するよう設計された高出力プラズマエッチング炉です。この高性能プラズマエッチング炉は、毎回精密で再現性のあるエッチング結果を生成することができます。最先端の設計により、優れた再現性とトランジスタレベルの精度で結果を出すことができます。AMAT Centura Hart APは、機械部品、エレクトロニクス、および高度なプラズマプロセスキットの配列から構築されています。静電気チャックを使用して、ターゲット材料を正確にマウントおよびエッチングします。この原子炉には、エッチング工程全体にわたって正確な測定値を提供する多数のセンサーが搭載されており、最適なプロセス制御が可能です。原子炉は、反応室で適切な雰囲気を実現するために、複数のポンプで設計されています。また、ガス注入ノズルを備えた真空システムと、イオン検出器および放出モニターポートを備えており、チャンバー条件をさらに最適化します。APPLIED MATERIALS Centura Hart APのエッチングプロセスは、幅広いエッチング因子とプロファイル形状を実現することができます。この原子炉には、エッチング結果の再現性を向上させるための「多点基板解析」アライメントなど、最新のプラズマウェハ処理技術が含まれています。さらに、高度なモニタリングシステムにより、動作中のパフォーマンスの問題を診断することができます。Centura Hart APは、環境に優しい原子炉であり、排出量を最小限に抑え、環境に優しい運転コードを利用するように設計されています。さらに、先進的な材料加工プログラムにより、消耗品を最小限に抑えて、無毒でエネルギー効率が高く高性能な材料を自信を持ってエッチングすることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Hart APは、半導体製造における複数の高度で微調整されたアプリケーションに最適なソリューションです。高性能エッチング機能と信頼性の高いプロセス再現性により、高精度の生産を実現します。この原子炉は優れた性能を提供し、環境への影響を最小限に抑えて経済的に動作するため、最新の製造プロセスに最適です。
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