中古 VIRTIS Virsonic 50 #9374832 を販売中

VIRTIS Virsonic 50は、半導体業界のハイスループット用途向けに設計された先進的なウェーハ処理装置です。モジュラーシステム設計を採用し、ウエハサイズは200mm〜300mmまで対応可能です。過剰エッチング、パターニング、化学機械平面化（CMP）など、さまざまなプロセスに適した多くの機能を備えています。Virsonic 50の高いスループットとそのプロセスの柔軟性は、高い精度と再現性を必要とするプロセスに特に役立ちます。このユニットには全自動のローディングステーションとアンロードステーションが含まれており、複数のウェハで作業しても途切れることなく処理できます。ウェハカセットとガントリーベースのローディング/アンローディングシステムにより、ウェーハは常に細心の注意を払って処理されます。VIRTIS Virsonic 50マシンには4つのプロセス/エッチングチャンバーが組み込まれており、それぞれに独自のプロセスパラメータが設定可能です。各チャンバーには、プラズマエッチングからウェットエッチングまで、特定の機能があり、任意の組み合わせで複数のパラメータを実行するようにプログラムすることができます。このツールには中央のプロセスコントローラも含まれており、ユーザーはグラフィカルユーザーインターフェイスを使用してプロセスパラメータを簡単かつ効率的に監視および調整できます。このアセットには、完全に自動化されたウェーハプロービングステーションも含まれており、ユーザーは肉眼では見えないエッジの問題、プロセスの欠陥、その他のウェーハの問題を自動的に検出することができます。これにより、ウェーハは常に最適な精度で処理されます。また、オプションの窒化物技術を採用し、選択的エッチング時間を増加させ、エッチング工程の均一性を高めることができます。Virsonic 50は、柔軟性と生産性を最大限に高めるように設計されています。それは信頼性と耐久性があり、最適なレベルで動作し続けるために最小限のメンテナンスが必要です。モジュール式の設計により、スケーラビリティが向上し、さまざまなウェーハ処理アプリケーションに適しています。ロボットウェーハハンドリングとの統合により、ハイスループットアプリケーションに最適な選択肢となります。