中古 DNS / DAINIPPON SS-80BW-AR #9205458 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-80BW-ARは、リソグラフィ製造用に特別に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは高いレベルのオートメーションと制御を提供し、ウェーハやマスクに害を与えることなく信頼性の高い洗浄を可能にします。本装置は、レンズ前のクリーニングマスクや露出システム、開発後のウエハスクラブなど幅広い用途に適しています。DNS SS-80BW-ARスクラバーは、高精度コントローラ、アダプティブスクラビング力、および簡単にアクセスできるヒンジ付き蓋などの機能を備えた、信頼性の高い効率的なクリーニングプロセスを提供します。スクラバーはコンピュータ制御の力を使用して、マスクやウェーハの穏やかなスクラブを提供します。0.8-2.4Nの間で力を調整して、洗浄がスクラブされている材料の感度に最適に適していることを確認できます。スクラバーには、スクラビングホイールとクリーニング液を備えたクリーニングチャンバーと、コントロールチャンバーの2つの主要なセクションがあります。クリーニングチャンバーは、以前のウェーハからのクリーニング液のキャリーオーバーを減少させるように設計されています。制御チャンバーには、真空源、温度センサー、フォースセンサー、圧力センサー、およびクリーニングプロセスのリアルタイム監視用のCCDカメラが収納されています。このシステムは、低粒子と水汚染のために設計されており、スクラビングツールの温度を制御するためのユニットが含まれています。スクラバーはRRモニター機能も備えており、粒度、濃度、流量を監視することができます。ダイニッポンSS 80BW ARスクラバーは、安全で信頼性の高い操作を保証するために、スクラビングプロセス中の潜在的な汚染またはエラーをユーザーに警告するように設計されています。また、使用するたびに自動的にスクラビングホイールを洗浄することで、ウェーハ間のクロス汚染を防ぐように設計されています。SS-80BW-ARは、リソグラフィ製造におけるウェーハおよびマスククリーニングに理想的な選択肢です。それは調節可能なスクラブ力、温度調整および粒子制御と信頼できる、自動化されたクリーニングプロセスを提供します。スクラバーは使いやすく、維持しやすく、ダウンタイムを減らし、生産性を高めます。