中古 DNS / DAINIPPON SR-2000 #9179461 を販売中

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DNS / DAINIPPON SR-2000
販売された
ID: 9179461
ウェーハサイズ: 8
ヴィンテージ: 2003
Wet wafer scrubber, 8" 2003 vintage.
DNS/DAINIPPON SR-2000は、シングルステッププロセスでウェーハやマスクを洗浄するように設計されたウェーハ&マスクスクラバーです。ウエハレベルおよびマスクレベルのアプリケーション用の自動スクラブ装置です。2インチから2mmまでの様々なウェーハに対応し、最低限の1µm地形を持つマスクです。このシステムは、最適化された液体搬送および分配ユニットを使用して、優れた洗浄結果を保証します。洗浄前後のウェーハやマスク面の画像をキャプチャする高精細CCDカメラを搭載しています。スクラビングチャンバーには、最適な圧力と回転速度に個別に調整可能ないくつかのクリーニングパッドが装備されており、均一で一貫したクリーニングプロセスを保証します。部屋はまた、制御された雰囲気の中で効率的な洗浄を確保するためにコンパートメントに分かれています。このマシンは柔軟かつ効率的に設計されており、ユーザーは1時間で最大60個のウェーハを処理できます。DNS SR-2000は効果的な洗浄結果を提供し、ウェーハやマスクに汚れ、ほこり、その他の粒子を含まないようにし、クリーンルームの安全性とSEMI規格に準拠するように設計されています。このツールは、信頼性と再現性の高い洗浄結果を提供するだけでなく、高品質のスクラブ結果を1つのプロセスで提供するように設計されています。DAINIPPON SR-2000は、さまざまなウエハやマスク用途に最適なソリューションです。
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