中古 CREST Custom #9071374 を販売中

CREST Customは、完全なウェーハ処理と測定のために設計されたオールインワンウェーハ処理装置です。これは、プロセス制御とセミコンウェーハ処理のための完全なオートメーション機能の両方を提供します。このシステムは、プロセスコントローラと自動ウェハハンドリングユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。プロセスコントローラはユニットの背後にある脳です。プロセスレシピの設計、最適化、障害検出、機械監視など、特定の要件に合わせてウェーハを処理するようにプログラムできます。このコントローラはまた、特定の工場要件を満たすためにカスタムソフトウェアを作成する機能を提供します。さらに、コントローラはさまざまなセンサー、カメラ、その他のツールに接続され、ウェーハ処理を完全に自動化できます。2つ目の主な要素は、自動ウェハハンドリングユニットです。このユニットは、プロセス・ステーション間でウェーハを移動させ、その進行状況を監視し、ウェーハのアライメントを調整して正しく処理されるようにします。これには、連結ウェーハハンドラ、自動ソート、クイックチェンジ位置決めなどの機能が含まれます。このユニットはまた、ウェーハとそれに関連するコンポーネントを向けるときに高精度を提供し、可能な限り最高の歩留まりを保証します。これらのコンポーネントに加えて、CREST Customは、ウェーハの完全な3Dイメージングのための強力な光学およびオートフォーカス機能を備えたビジョンツールも提供します。この機能は、製品の欠陥を低減するために、ウェーハを適切に処理して整列させるのに役立ちます。最後に、この資産には、半導体プロセスで成功するための適切なチャンバー条件を確保するための環境モニタリングセンサーも含まれています。全体として、カスタムウェーハ処理モデルは、信頼性の高い正確な自動ウェーハ処理機能をお客様に提供します。プロセス制御、ハンドリング、ビジョン、環境モニタリングなど、業界標準の機能により、この機器は多くの半導体製造拠点に最適です。CREST Customを使用すると、お客様はウェーハが迅速、正確、かつコスト効率の良い方法で処理されることを信頼できます。