中古 VARIAN / VEECO GENxplor #9211484 を販売中
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販売された
ID: 9211484
ヴィンテージ: 2015
MBE Growth system
Vacuum barrier
VBC LN2 Piping system included
kSA 400 Analytical RHEED system, 6"
With k700-12 detector
RF Plasma source for nitrogen GENxplor
RF Source for nitrogen to change from phosphorus to nitrogen
RF Automatic matching unit:
Autotuner source
N2 - Nitrogen plasma source
Auto tuner power option: 110 - 110 VAC
(2) Projects:
GaP On sapphire (and Si), phosphorus-based red LED application
GaN On sapphire
MBE Growth chamber / Source flange assembly
Includes:
Growth chamber with flat seal flange
Full panel liquid nitrogen cooled cryoshroud
(10) 4.625" CF Effusion cell ports
4.625" x 4.5" Water-cooled source enclosures configured with sources
(10) Pneumatic effusion cell shutter ports
Shutter assemblies configured with sources
Top 21.5" CF Flange:
8" Manipulator port with Z-motion single platen horizontal manipulator stage
3" Single zone substrate heater with non-contact
Thermocouple and servo motor control for rotation
Capable of 1000°C TIC temperature
Capable of up to 60 RPM in either direction
DC Power supply
2.75" CF With pneumatically actuated main substrate shutter
(2) Liquid nitrogen feedthrus (Female bayonet)
(4) 2.75" Effusion cell viewing ports with shutters
Integral pumping chamber pumping package:
10" CF Pump port with cryo pump package
Includes:
1,500 CTI CT8 Cryo pump
VAT Pneumatic gate valve
Cryo compressor
Helium lines and cold head cables
8" CF Pump port with ion pump package
220 I/s Ion pump with control unit
(3) 2.75" CF Ports:
Ion gauge and control unit (GRANVILLE PHILLIPS P350)
SRS Residual gas analyzer (0-100 amu)
Titanium sublimation pump
8" CF Transfer port (Gate valve configured with buffer chamber)
4.5" CF Transfer viewport with manual shutter
RHEED Package:
Includes:
6" CF With RHEED screen with shutter
2 .75" CF With 15 keV RHEED gun, (staib) controller
With beam rocking, beam blanking, power supply
4.5" CF With linear retractable beam flux monitor
4.5" CF Optical port 1802 opposite BFM (blank)
(2) 4.5" CF Optical ports 1802 Opposed (blank)
Single-body system support frame
Integral cooling water manifold
Compressed air distribution manifold with pneumatic control circuits
(10) of these are for shutters
Base flange assembly
Includes:
(4) 2.75" CF Ports
2.75" Heated viewport with manualsShutter (pyrometer port)
BASF Pyrometer package (wavelength to be determined)
(3) 2.75" Ports (blank)
Effusion cell:
(3) 60cc Hot lip single filament effusion cell packages
For use with Indium and Gallium
Including:
60cc Hot lip effusion cell
60cc Conical PBN crucible
Linear-motion
Pneumatic shutter with material-specific shutter blade per source
Water cooled enclosure per source
DC Power supply
(2) 60cc Cold lip single filament effusion cell packages for aluminum
Including:
60cc Conical PBN crucible
Linear-motion
Pneumatic shutter with material-specific shutter blade per source
Water cooled enclosure per source
DC Power supply
Valved cracking effusion cell for use with P
Includes:
500cc Mark V P valved cracker
Linear-motion
Pneumatic shutter with material-specific shutter blade per source
Automated servo motor control package
White zone temperature controller
Water cooled enclosure
(2) DC Power supplies
Phosphorus recovery system package
Includes:
Phosphorus recovery system package
Includes:
830 l/s Mag lev turbo pump with backing pump and controllers
LN2 Cryotrap
Gate valve
Cold cathode gauge
5CC Dopant cell package for Si
Includes:
5cc Dopant effusion cell
5cc PBN Crucible
Linear-motion
Pneumatic shutter with material-specific shutter blade
Water cooled enclosure
DC Power supply
60cc Single filament effusion cell packages for use with Zn
Includes:
60cc Single Filament effusion cell
60cc Conical PBN crucible
Linear-motion
Pneumatic shutter with material-specific shutter blade per source
Water cooled enclosure
DC Power supply
Transfer with load-lock and buffer modules:
Entry / Exit load lock chamber
Includes:
8" Quick access door with integral viewport
Quartz lamps for heating to 200°C
8" CF Manual VAT gate valve for connection with the buffer chamber
250 l/s Turbo pump package with controller, roughing manifold, Backing scroll pump
Convection gauge
Ion gauge with control unit
Buffer / Preparation chamber assembly
Includes:
8" CF Viewports for transfer hand-off
Manually driven UHV elevator transfer system
(4) Storage shelves
o One (1) Magnetically-Coupled Transfer Rod Assembly for use from Buffer Chamber to
Growth Chamber
8" CF Pump port with 160 l/s ion pump and control unit
8" CF Manual gate valve (Connect with growth chamber)
Ion gauge and control unit (Granville Phillips GP350)
System electronics cabinets
Includes:
Two-bay electronics rack
System controller
Sixteen-loop PID temperature controller package
Power supply:
RF Source power supply
DC Power module
RF Plasma source RF generator
RF Power connector option: 120VAC
2015 vintage.
VARIAN/VEECO GENxplorは、半導体産業の薄膜蒸着システムのリーディングサプライヤーであるVEECOによって設計および製造された分子ビームエピタキシー(MBE)装置です。MBEシステムは、次世代半導体デバイスを可能にする高分解能で費用対効果の高い薄膜蒸着機能を提供します。VEECO GENxplor MBEは、幅広い高度なプロセス機能と直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを組み合わせて、材料の成長、レイヤプロパティ、デバイス結果をトータルに制御します。高度なマルチチャンバー設計により、最大4つの異なる堆積材料を同時に使用でき、正確に制御された再現性のある層を提供します。また、最適化されたデバイスの歩留まりとプロセスの再現性の向上を可能にするプロセス最適化のためのさまざまなオプションも提供しています。VARIAN GENxplor MBEユニットは、異なる蒸着モード間の自動スイッチを提供する12ソース、2チャンバ機能を備えています。Its。cghncluded高度な基板加熱、材料特性とプロセス性能を最適化するために基板温度を正確に制御することができます。また、材料沈着および層成長プロセスのリアルタイム監視を可能にする幅広い光学および電気監視システムを備えています。GENxplor MBEマシンは、蒸着プロセス中のチャンバー露光時間と基板温度を制御する精度を提供する革新的な機械シャッター技術を使用しています。これにより、正確な反復可能な層の厚さと均一性が保証されます。また、高速かつ安定したプロセス時間を提供し、静的真空クラスI性能を最大化する高性能の真空ポンプツールを備えています。VARIAN/VEECO GENxplor MBEは、デバイスの歩留まりとプロセスの再現性の要件を満たすように設計された、高度で汎用性の高い薄膜蒸着アセットです。このモデルは、高解像度、高精度層堆積の利点を提供し、高度なデバイス品質を必要とする研究および生産アプリケーションに最適です。薄膜成膜のための非常に効果的で信頼性の高いプラットフォームであり、最高の性能と比類のないプロセス再現性を提供します。
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