中古 VARIAN / VEECO GEN II #9238934 を販売中

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VARIAN / VEECO GEN II
販売された
ID: 9238934
ウェーハサイズ: 4"
MBE System, 4".
VARIAN/VEECO GEN IIは、有機材料や無機材料の薄い層を基板に堆積させるために使用される分子ビームエピタキシー(MBE)装置で、研究者は驚異的な制御と精度で高精度のナノ構造を生成することができます。このシステムは、厚さが1マイクロメートル程度までの数アングストロームから層を堆積させることができ、半導体、金属、ポリマー、ナノ構造など、さまざまな材料に使用することができます。MBEシステムは、超高真空中の高温で材料を蒸発させ、蒸気を冷却基板に堆積させることによって機能します。VEECO GEN II MBEユニットでは、真空チャンバーはロードロック、メインチャンバー、基板準備チャンバーの3つのセクションに分かれています。サンプルは負荷ロックに置かれます、環境は望ましい真空レベルにポンプでくまれ、そしてサンプルは主要な部屋に移ります。そこで基板が所望の温度に加熱され、蒸発剤が導入されます。材料はチャンバー内で蒸発されるため、基板の表面に向けられます。堆積したフィルムはゆっくりと冷却され、所望のナノ構造を形成するためにアニールされます。この機械には、沈着およびフィルム形成プロセスをより大きな制御できる多数の機能も含まれています。例えば、VARIAN GEN IIには高精度のチョッパー工具が搭載されており、フィルムの厚さや蒸着速度、サンプル回転ステージ、チャンバー内のガス環境を精密に制御できるガス供給アセットなどがあります。さらに、このモデルにはさまざまなビームシャッターが含まれており、無機金属または有機金属の堆積を可能にしたり、堆積中の種の分布を正確に制御したりすることができます。GEN II MBE装置は、ナノ構造に精度と制御を追加する研究者にとって非常に貴重なツールです。その特徴は、厳格な制御で高性能なナノ構造を作成する能力をユーザーに提供し、マイクロエレクトロニクス、フォトニクス、材料科学などの分野でのアプリケーションを可能にします。
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