中古 VEECO Gen II #9214855 を販売中

VARIAN/VEECO GEN II Molecular Beam Epitaxy （MBE）装置は、オーダーメイドのナノ構造材料を作成するために使用される最先端の薄膜蒸着システムです。MBEは、薄膜成膜とヘテロ構造の超高真空分子レベルの蒸着技術であり、優れた均一性と結晶性を持つ原子レベルの層の厚さまで材料構造を製造することができます。VEECO GEN II MBEユニットは、特に強力なマシンであり、業界をリードする機能を提供し、非常に高い精度と再現性を備えています。超高真空チャンバー、6つのるつぼ噴出セル蒸発ツール、2つの電子ビーム蒸発器、2つのイオンガンと自動温度コントローラで構成されています。高度なin-situ温度測定システム、ビューポート、四極質量分析計、および簡単でユーザーフレンドリーな制御とプロセス追跡のための蒸着制御アセットが含まれています。VARIAN GEN IIモデルは、グループIII -V半導体、酸化物、金属、合金など、さまざまな材料に基づいて複数の材料システムを製造することができます。GEN II装置は、エピタキシャル層の薄膜沈着や、光電子およびエネルギー貯蔵用途のナノ構造の製造に使用されます。プロセス中、高精度のレートコントローラは、基板温度と層厚を完全に制御し、ソース温度を包括的に選択できます。また、蒸着コントローラにより、蒸着速度をリアルタイムでモニタリングすることができ、材料の均一性や層厚を高精度に制御することができます。また、堆積中に現場での洗浄サイクルをプログラムし、汚染を最小限に抑え、優れた結晶性と総面積カバレッジを提供できます。VARIAN/VEECO GEN II MBEユニットは、数多くの先進的なアプリケーション向けに高品質の薄膜材料を製造するための非常に汎用性の高い生産機です。高度な超高真空プロセスにより、トータルエリアカバレッジ、高均一ホモエピタキシャル層、高移動性ヘテロ構造を備えた高品質のナノ構造材料の製造が可能になります。VEECO GEN II MBEアセットは、高度なin-situ蒸着監視機能とプログラム可能な温度パラメータを組み合わせることで、比類のないレベルの精度と再現性を提供します。