中古 VEECO Gen II #9194612 を販売中
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ID: 9194612
ウェーハサイズ: 3"
MBE Growth system, 3"
AlGaAs Laser
InGaAsP
Vacuum:
Growth chamber (GC)
Triode ion pump: 400 l/sec
Buffer chamber (BC)
Triode ion pump: 200 l/sec
(2) TSP Controllers
Loadlock chamber (LC)
(100) CTI Cryotor cryopumps
(2) Vacshorption pumps
Ventury pump
In situ and calibration tools:
RHEED System: 0-10 keV
RHEED Oscillation growth rate calibration system
Cells:
EPI
Valved cracker with valved controller
Cable
Riber three zone
P Valved cracker with valve controller
Power supply
(3) 400g Sumo cells Ga, In, Al
(2) Dopont cells
Dual electronic equipment rack, 19"
(12) Solenson DC power supplies
2704 Dual channel
Eurotherm controller
Substrate and heated station
(2) DC Power supplies
Substrate heater
Heated station
Other tools:
Ircon optical pyrometer
Growth chamber and beam flux
(2) GP Ion gauge controllers
Buffer and loadlock chamber
RHEED Power supply
RGA Power supply unit
TEK Scope
Riber P valved cracker valve controller
Riber P cracker power supply
Pyrometer port heated
Substrate manipulator controller
Loadlock chamber
Lamp power and controller
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Chart record mounted
RHEED Oscillation recording
Trolley for substrate handling.
VARIAN/VEECO GEN II分子ビームエピタキシー（MBE）装置は、高品質の半導体材料の研究開発に使用される画期的な技術です。これは、最適な性能と信頼性を確保するために、これらのデバイスの生産のための卓越したレベルの制御、精度と精度を提供します。このシステムには、材料ドーピング、堆積、および構造の成長のためのVEECO GEN II MBEプロセッサが含まれています。このプロセッサは、超高真空環境を実現し、幅広い基板およびソース構成を動作させるように設計されています。このユニットにはオプションのAE VEECO Long Body Sourceも含まれており、高出力で分子ビームの均質性に優れているため、正確かつ正確なMBE結果が得られます。次のメインユニットのコンポーネントが含まれています：1。真空チャンバー-メインチャンバーは、超高真空環境下で動作するように設計されており、優れた均一性と霧化で材料層の堆積と成長を可能にします。2.基板ソース-必要な材料や規格（システリン/アモルファスなど）に応じて、多数のソースが利用可能です。精度を向上させるために、オプションのリファレンスとデスティネーションソースを使用して、成長レベルを最適化できます。3.ソース構成-ソース構成には、イオン源、電子ビーム源、反応源、およびさまざまなMBEプロセスに対応する埋め込みソースが含まれます。4.プロセス制御-可変レートプロセス制御により、基板沈着または成長速度を正確に調整できます。オプションのAutotuneモジュールを使用すると、プロセス制御を改善し、生産性とコストを削減できます。5.サンプルアライメント-サンプルアライメントマシンは、ウェーハとその層を正確かつ再現可能に位置決めし、最適な均一性と精度を提供します。6.真空モニタリング-このツールは、in-situ湿度および蒸着セル、アナライザ、およびゲージを使用して、圧力、温度、および残留ガスのレベルを監視します。VARIAN GEN II MBEアセットは、迅速なセットアップと操作のためのユーザーフレンドリーなデザインと直感的なコントロールを提供します。モデルはまた、特定の要件に応じて、さまざまな構成で提供されます。最新のMBE技術を活用することで、優れた品質と信頼性のために最適な精度と精度を提供することができます。
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