中古 SCHMITT INDUSTRIES TMS-3000WRC #9225643 を販売中
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販売された
ID: 9225643
ウェーハサイズ: 5"-12"
ヴィンテージ: 2014
Surface roughness system, 5"-12"
Non-contact measurement
Full surface scan
Front and backside measurement
Friendly GUI
Mapping (Color plot) function
Measurement material: Bare silicon wafer / Coated silicon wafer
Measurement size: 4"-12"
Measurement thickness: < 100 um
Water chuck method: Vacuum chucking
Rotary stage:
Repeatability: +/- 0.01°
Accuracy: +/- 0.05°
Linear stage:
Repeatability: +/- 0.01 mm
Accuracy: +/- 0.03 mm
Computer: Pentium class computer
Data generation: ASCII / SPC / Color plot with scan notes
Measurement specification:
Source: Class II Laser, 670 nm
Spot size: ~1mm Diameter
Measurement points: Programmable (Single point to full map)
Data type: Ra, RMS(Rq), PV, TIS, Haze
Edge exclusion: 1mm
Measurement speed: 20 to 100 Measurement points / sec
Measurement range: 0.2A to 10,0000A (RA or RMS)
Resolution: 0.02A
Repeatability: +/-0.10A
Reproducibility: +/-0.20A (Reloaded)
Filtering band:
Low band: 0.026 to 0,129 um - 1 (7.8 to 38 um)
High band: 0.129 to 1.4 um - 1 (0.88 to 7.8 um)
Full band: 0.026 to 1.14 um - 1 (0.88 to 38 um)
Comp band: Selectable from 0.2 to 150 um
Temperature: 5°C ~ 40°C
Vacuum: -9.3 Pa
OD Tube connector: 6mm
Standard AC power code
Power: AC 100-240 V, 50/60 Hz
2014 vintage.
SCHMITT INDUSTRIES TMS-3000WRC Mask&Wafer Inspection Equipmentは、最も要求の厳しいウェハおよびマスク検査アプリケーション向けに設計された、最先端の高速非破壊表面検査および測定システムです。半導体製造業界に最適で、高度な自動化、高度化、精度を提供します。TMS-3000WRCユニットは、優れた解像度、非常に高速で正確なイメージング、正確な制御、優れた再現性を提供します。その先進的な光学、イメージング、モーション、制御機械は、最高レベルの3D測定と地形画像を提供します。直感的なソフトウェアインターフェイスと使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスにより、高速で正確で反復可能なマスクおよびウェーハ検査が可能です。SCHMITT INDUSTRIES TMS-3000WRCツールは、最大4つの異なるセンサーを簡単に交換できる構成可能なタレットで設計されています。これにより、エッジ、ドロップサイズ、破損、欠陥、ドーパント、穀物、吸収、反射など、幅広い表面検査が可能です。また、自動明るいフィールドと暗いフィールドの光の構成を提供し、粗さ、平坦度、粒度、酸化物の厚さなどの正確な形態学的測定を可能にします。TMS-3000WRCアセットには広いダイナミックレンジがあり、高い反射面を高速で検査することができます。また、最先端のオートフォーカス機能により、マスクまたはウェーハ表面全体の欠陥検査に最適なフォーカスを維持できます。統合されたパターン認識技術により、マスクまたはウェーハ上の正常、マイナー、および重大な欠陥を簡単に区別できます。SCHMITT INDUSTRIESのTMS-3000WRCシステムはまた速く、正確な結果を可能にする高度のイメージの分析および処理アルゴリズムを特色にします。さらに、高精度な線形ステージ、振動制御検査テーブル、ビジョンセンサーなど、より高度なマスクやウェーハ検査用の幅広いアクセサリーも提供しています。全体として、TMS-3000WRCマスク&ウェーハ検査機は、最も要求の厳しいマスクまたはウェーハ検査アプリケーション向けの比類のないソリューションです。その幅広い機能、精度、オートメーションにより、クラス最高のシステムの1つです。
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