中古 RUDOLPH WV 320 #9248810 を販売中

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ID: 9248810
ウェーハサイズ: 12"
Macro defect inspection system, 12" (2) BROOKS Loadports with FOUP Loadports carrier reader: RFID Type YASKAWA Robot Light source: Head: 20 um Xenon flash lamps Wavelength range: 480-750 nm Resolution: Above 25 um Function: YVS Server 3D Defect image generation Auto Defect Classification (ADC) function.
RUDOLPH WV 320は、自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体製造プロセスでウェーハ加工の欠陥を検出し、最小限に抑えるために設計されています。このシステムは、生産コストの削減と製品品質の向上に役立ちます。このユニットは、高度なスキャンイメージング技術に基づいた3軸マスクおよびウェーハ検査機です。堅牢で正確な2次元スキャン機能を備えた高度な自動ステージ機構と、倍率制御ツールが含まれています。この資産は、多種多様な自動マスクおよびウェーハ検査を実行することができます。パターンの不一致、粒子、その他の表面の不規則性などのサブミクロン欠陥を検出できます。また、汚染物質やデルバ誤検査によるウェーハへの不具合の検出も可能です。検査対象ウエハの種類に応じて、200mm〜400mmの範囲でスキャンが可能です。統合された倍率制御システムにより、画像の正確なズームと回転がリアルタイムで可能になり、検査精度が向上します。高度なオンスクリーン測定機能により、オペレータは使いやすいマウスクリックで欠陥サイズを正確に測定できます。また、4K解像度のTrue Color Displayを搭載し、より豊かでより詳細な画像を得ることができます。機械はユーザーフレンドリーで、容易に作動し、維持することができます。このツールは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、サンプルパターン、照明設定、測定基準、マスクの受け入れ基準など、事前に設定された設定の豊富なライブラリが付属しています。これにより、迅速かつ正確なセットアップ時間と最適な制御が可能になります。このアセットには、検査作業のアーカイブと追跡が可能なFITS機能も内蔵されています。この機能により、オペレータはデータをデジタル形式で保存し、比較のための欠陥をすばやく呼び出すことができます。RUDOLPH WV320マスクおよびウェーハ検査モデルは、ウェーハ生産における最高レベルの精度と再現性を確保するための効果的なソリューションです。その高度な自動ステージ機構、倍率制御装置、直感的なユーザーインターフェース、そして堅牢なTrue Color Displayは、最も要求の厳しい半導体アプリケーションにおいて比類のない品質管理をもたらします。
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