中古 RUDOLPH WV 320 #9247834 を販売中

RUDOLPH WV 320は、半導体マスクとウェーハを迅速かつ正確に検査するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体の設計がますます複雑になるにつれて、より密で細かい機能サイズで、製品の最高の歩留まりと品質を確保するためには、マスクおよびウェーハ検査システムが不可欠です。RUDOLPH WV320は、高速かつ効率的な欠陥スキャンをサポートする1600万メガピクセル、高速20ビットイメージセンサーとガルバノメートルスキャンミラー技術を搭載しています。最大200mm x 200mmの視野をサポートし、最大毎秒120mmの最大スキャン速度で検査作業を最適化します。WV320のディープフォーカス機能により、視野の端にあるか、ウエハの底にあるかにかかわらず、ウエハやマスクの欠陥の最小でも検出できます。また、ブロードバンド検出フィルタ、全方位オートキャリブレーション、3次元深度誘導を備えており、可能な限り最適なイメージング結果を得ることができます。これにより、ピンホール、ショート、分離欠陥など、最も検出が困難な欠陥を検出することができます。さらに、このツールは、2D-to-3D調整欠陥検出、フロント/バックサイドチップアライメントから断面形状解析、およびダイダイ比較まで、幅広い検査シナリオをサポートしています。このアセットは、信頼性と効率性を最大限に高めるために、ホット/コールドの不揮発性RAMだけでなく、ユーザーフレンドリーなGUIとデータストレージを備えています。さらに、このモデルは、包括的な機能豊富なマスクおよび欠陥解析および検査パッケージであるRUDOLPH MaskControlを含む幅広いイメージングソフトウェアで動作するように設計されています。WV320は、他のRUDOLPHマスクおよびウェーハ検査システムと組み合わせて、迅速かつ正確なウェーハ/マスク分析で高度な検査を提供し、利用可能な最高の歩留まりを達成し、最高の品質と信頼性を確保します。