中古 RUDOLPH WV 320 #9183381 を販売中

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RUDOLPH WV 320
販売された
ID: 9183381
ヴィンテージ: 2005
Macro defect inspection system 2005 vintage.
RUDOLPH WV 320は、RUDOLPH Technologiesが開発したラインマスクおよびウェーハ検査装置のトップです。このシステムは、次世代半導体やオプトエレクトロニクスの研究開発、製造に使用するために設計されています。RUDOLPH WV320は、カラーCCDカメラと最先端の独自のマスクレビューアルゴリズムを使用した高度な検査機能を備えています。このユニットは、人間工学に基づいて設計され、設定可能なオペレータインターフェイスを備えており、マスキングおよびウェハ検査操作を評価します。自動化とセンサは、あらかじめ定義されたジョブ設定に基づいて検査パラメータの変更を管理し、迅速かつ正確なデータ取得を可能にします。また、デュアル出力ビームと偏向光学を搭載しているため、同じ標本の2つの部分を同時に撮影することができ、焦点が鋭くなります。デュアルビームオプティクスは、試験片のさまざまな部分で正確な粒子と塵の検出を保証します。この顕微鏡は、最大3倍の可変倍率を提供し、さまざまなレベルのディテールで正確な検査を保証します。また、WV320は高度なエッジ検出アルゴリズムを備えており、マスクやウェーハ上の欠陥や粒子を正確に検出することができます。エッジ検出アルゴリズムは、サイズが0.2µmに小さい不規則性を検出することができ、正確な欠陥特性評価とレポート作成を可能にします。このツールには、欠陥の画像を比較し、時間とともに変化を強調表示する機能もあり、ユーザーは効率的に進捗状況を追跡することができます。WV320には、明るいフィールド照明、暗いフィールド照明、偏光照明などのオプション機能があります。これらのオプションは、粒子と欠陥のコントラストと差別化を高め、正確な検出を保証します。マルチチャンネルカラーカメラは、複数のカラーチャンネルで同時にイメージングすることができ、ユーザーは粒子分布とサイズに関連する高度なメトリックを生成することができます。RUDOLPH WV 320は、半導体製造、再生可能エネルギー研究、およびその他のオプトエレクトロニクス用途に最適です。高解像度イメージングおよび欠陥/粒子検出操作に適しています。マルチチャンネルカラーイメージング、エッジ検出、ラベルフリー画像解析などのユニークな機能により、マスクやウェーハの正確で信頼性の高い検出と検査を行うための貴重なツールです。
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