中古 RUDOLPH NSX 320 #9223476 を販売中

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ID: 9223476
ヴィンテージ: 2014
Automated defect inspection system 2014 vintage.
RUDOLPH NSX 320マスク&ウェーハ検査装置は、マスクやウェーハを最高レベルの精度と解像度で検査できる独自のシステムです。先進的な光学技術と画像処理技術を駆使し、優れた成果を高速化します。このユニットは、高速イメージング制御ボード、カメラ、ランプ、レンズなど、いくつかの最先端コンポーネントを含む近代的なアーキテクチャに基づいています。10メガピクセルのイメージングボードを搭載し、最大4台のカメラに対応し、最大33倍の倍率で画像をキャプチャ、処理、分析できます。また、統合された画像処理プラットフォームを備えており、印象的な精度と解像度で素材を迅速に検査することができます。また、ウェーハネストとアライメントモジュールを内蔵しており、大型ウェーハの検査を容易かつ効率的に行うことができます。また、誤検出を軽減する高度なパターン認識アルゴリズムなど、さまざまな独自の画像処理および解析アルゴリズムも備えています。さらに、最新の欠陥分離および特性評価機能、自動化されたマスクおよびウェーハ特性評価、欠陥トレーサビリティ、歩留まり分析、および統計プロセス制御も含まれています。高精度・高速でラインエッジ粗さ(LER)などの特徴を詳細に解析することができます。また、革新的な3Dトポグラフィーモジュールを使用して、障害や機能に関する3D情報などの特別な機能をユーザーに提供します。また、この装置は、品質管理とプロセス最適化の評価に重要な、歩留まりの適切な種類の欠陥を特定して分類することができます。NSX 320マスク&ウェーハ検査システムは、ウェーハ検査に最適な完全パッケージです。比類のない精度、スピード、高度な画像処理技術とアルゴリズムにより、歩留まりの最大化と効率の向上に役立ちます。マスクやウェーハを迅速かつ正確に検査する必要があるあらゆる検査チームに最適なツールです。
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