中古 NANOMETRICS NanoSpec AFT 4000 #9167097 を販売中

ナノメトリクスNanoSpec AFT 4000は、迅速かつ正確な結果を得るために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、臨界寸法（CD）からオーバーレイ精度まで、幅広い機能を検査することができます。これは、高解像度のデジタルイメージングと10倍の客観的な倍率を備えており、ナノスケールのパターンと機能の詳細な分析を可能にします。このユニットは、2Dイメージングを向上させるために、独自のAccuViewTMイメージエンハンスメントマシンを備えたフラットパネルディスプレイを備えています。自動化されたfiducialおよび機能認識ツールとズーム機能を備えており、欠陥の正確な可視化を可能にします。この資産には、欠陥認識ソフトウェア、自動測定、レポート機能を備えた高度な計測パッケージがあります。また、オペレータが対応するウェーハジオメトリを入力し、機器が定義されたパラメータに従ってウェーハの欠陥を自動的に検査する自動検査モードも備えています。ナノメトリクスNANOSPEC/AFT 4000は、ウェーハの正確な位置決めのためのモーションコントロールと、データの精度を確保するためのウェーハセンタリング用のXYステージを備えています。使いやすく、直感的なメニューでナビゲートできます。さらに、オートフォーカス機能により、ウェーハの垂直方向および方位角の正確なアライメントが可能です。システムはモジュール式なので、追加のコンポーネントを簡単に追加して機能を強化できます。これには、180度ウェーハ回転用の回転可能なウェーハステージが含まれます。このユニットは低メンテナンスで構築され、リアルタイムウェハデータを提供します。これは、データ収集マシンを利用し、データの保存と分析のためのホストコンピュータを含み、検査プロセス中に履歴を追跡するためのイベントロガーを備えています。また、SAFETYLOCKOUTTM安全機能を備えており、完全にCEおよびISO認定されています。NanoSpec AFT 4000は、パワフルで洗練されたマスクおよびウェーハ検査ツールで、さまざまなウェーハ形状および機能に信頼性の高い貴重な分析データを提供します。これは、迅速かつ正確な計測結果を必要とする半導体専門家にとって理想的な選択肢です。