中古 LEITZ Ergolux #93721 を販売中

LEITZ Ergoluxは、ウェーハとマスクの形状と品質を総合的に把握できるように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。これは、欠陥と汚染の検出、形状測定、およびエッチング深度測定を単一のデバイスで可能にする高度なイメージングおよび分析ツールです。Ergoluxは、さまざまなコンポーネントを同時にスキャンして分析できる自動画像認識システムを採用しています。LEITZ microlithsと16メガピクセルのイメージングユニットを使用して、ほぼ完全なフィールドの表面地形を評価することができます。欠陥位置やサイズ、汚染、ウエハ/マスクの厚さ、エッチング深さ、パターン精度などの特徴を高い精度と再現性で測定することができます。最適なイメージング性能と精度を確保するために、LEITZ Ergoluxにはいくつかの機能が組み込まれています。これらの機能には、調整可能な照明機、高度な画像処理、色認識、および6軸オートメーションツールによる0。2 µmの画像解像度が含まれます。これにより、効率的な検査のためのイメージング、分析、再現性が向上します。Ergoluxはまた、ソフトウェアベースの画像処理を使用してノイズやストリーキングを低減し、欠陥の分離を容易にします。さらに、独自のオブジェクト認識アルゴリズムを使用してウェーハ/マスク内の欠陥を識別し、正確で自動化された欠陥解析を可能にします。LEITZ Ergoluxは、ウェーハおよびマスクの検査に有効なツールであり、さまざまな用途において信頼性と正確性が証明されています。さまざまなコンポーネントをスキャンして分析する機能を備えたErgoluxは、品質保証、障害識別、メンテナンス手順を迅速に実行するための完璧なツールです。さらに、高度な画像処理機能と自動解析により、シンプルさと費用対効果が向上します。