中古 LEITZ Ergolux #61327 を販売中

LEITZ Ergolux Mask and Wafer Inspection Equipmentは、半導体マスクおよびウェーハの表面を検査および分析するために使用される特殊なシステムです。高度なパターンマッチングアルゴリズムと最先端の光学技術を組み込み、自動品質管理とプロセス最適化を提供し、包括的な欠陥検出と分析を提供します。Ergoluxのマスクおよびウエファーの点検単位は3つの部品から成っています；モーションコントロールユニット、画像検出器、ビジョンマシン。モーションコントロールユニットは、検査プロセス中にコンポーネントの動きを正確に制御することができます。また、複数の視野を検出することができ、表面の完全なカバレッジを可能にします。画像検出器は、検出器の1次元配列を使用して、最大5つのスポットの高解像度画像を同時にキャプチャします。これにより、複雑なパターンの検査と、ウェーハ表面全体に存在する欠陥の評価が可能になります。この検出器は、穀物構造、等方性エッチング、表面形態などの表面特徴を測定することもできます。このビジョンツールは、ウェーハの表面を貫通し、潜在的な欠陥を検出するために4xダークフィールド光学を利用した高度な光学アセットです。これには、欠陥の識別とサイジングに使用される大量の正確な参照データが含まれています。このデータは、画像検出器からの出力と組み合わされ、ウェーハの特性を包括的に記録します。LEITZ Ergoluxマスクとウェーハ検査モデルは、自動検査とプロセス最適化のための強力で信頼性の高いツールです。その高度な光学技術と革新的な画像処理アルゴリズムにより、ウェーハ欠陥の正確な識別と特性評価が可能になります。比類のない精度で欠陥を特定することで、リリース前の製品の完全性と信頼性を保証します。これにより、最終製品は最高品質であり、すべての業界要件を満たしています。