中古 KLA / TENCOR Terascan SL 536 #9363034 を販売中

KLA/TENCOR Terascan SL 536は、半導体製造業界のさまざまな用途に最適化された最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。特許取得済みのアレイイメージセンサーと高度な光学系は、シリコンウェーハ、薄膜太陽電池、フォトマスク、レチクルなど、さまざまなマスクおよびウェーハ基板上の最小欠陥源を検出および分析するために設計されています。高速で高解像度のKLA Terascan SL 536は、比類のないレベルの精度と信頼性を提供し、最も複雑な欠陥サイトも検出します。このシステムは、高精度の干渉計、CCD、 CMOS技術を使用して、ウェーハ全体で最大512 μ mを同時に測定することができます。特許取得済みの1.5X画像倍率と高度な照明ユニットにより、TENCOR Terascan SL 536は、最高のSNRおよび最も詳細な画像処理に分散照明を提供します。また、Terascan SL 536は、さまざまなウエハの種類や形状を効率的に処理するために、自動化されたラフアライメントおよびスキャンステーションを備えています。ウェハレベルの位置決めとアライメントデータにより、ウェハサーフェスをエラーマップして検出された欠陥の正確な位置を特定できます。既知のマスクを自動認識する高度なパターン認識機能を搭載し、完全自動欠陥検出を実現しています。その高度なソフトウェアおよびハードウェアツールは、高速データ処理アルゴリズムを使用して、転位、リップルマーク、ピット、明るいスポット、およびボイドなどのさまざまな種類の欠陥を迅速かつ正確に検出します。KLA/TENCOR Terascan SL 536のユーザーフレンドリーなGUIにより、操作プロセスが簡素化され、ユーザーは目的の情報をすばやく取得できます。人間工学に基づいた高解像度のタッチスクリーンインターフェイスにより、ユーザーの操作が容易になり、機械は安全なデータ転送を可能にし、プラントと設備の間で情報を迅速に共有できます。KLA Terascan SL 536は非常に効率的で、数分でマスクやウェーハを分析します。最高の画質を提供し、生産性の向上、欠陥検出の向上、量産用の歩留まりの向上を保証します。