中古 KLA / TENCOR PLLAD Assy for 2138 #9254103 を販売中

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KLA / TENCOR PLLAD Assy for 2138
販売された
ID: 9254103
KLA/TENCOR PLLAD Assy for 2138は、高度な微細加工プロセス向けに設計された、正確で高スループットマスクおよびウェーハ検査装置です。この装置は、フォトマスク、レチクル、回路ウェハを高解像度で検査するための自動ソリューションを提供します。これは、ハイエンドのリソグラフィと重要なデバイス製造の課題に対する包括的で高スループットのソリューションであり、フィルムと非フィルムの両方のデバイスをサポートします。KLA PLLAD Assy for 2138は、特許取得済みのDual Plane Laser Die-to-Die Aligner (DPLAD)システムを使用して、手動調整やキャリブレーションを必要とせずに、隣接する同一の構造を20nmピッチまで正確に整列および比較します。PLLADは高い精度により、正確なフィルム欠陥レビューとウェハレベルの検査に柔軟性を提供します。さらに、PLLADは、ユーザーが可能な限り最高の解像度で高精度の測定を実行できるようにします。TENCOR PLLAD Assy for 2138は、複数の層の分析とレビューを提供するように設計された包括的なアルゴリズムと統合ハードウェアによってさらに強化されています。高度な機能には、CDやパターン測定などの最高精度の測定や、重要な欠陥の識別が含まれます。このユニットは、重大な欠陥、異物、ナノメートルスケール粒子、異常な特徴、写真の欠陥、およびパターンエラーを含む完全な欠陥分析と管理を提供することができます。さらに、PLLAD 2138には、欠陥の報告とイメージングのための包括的な診断機能が含まれています。洗練された機能に加えて、PLLAD Assy for 2138はユーザーフレンドリーな体験を提供するように設計されています。人間工学に基づいたクランプ治具と、最適な生産性を実現する電動ステージモーションを備えた、簡単な手動コントロールパネルを内蔵しています。統合されたタッチスクリーンインターフェイスは、さまざまなユーザーレベルの熟練度に対応し、マシンは、特定のアプリケーションのために簡単にプログラムすることができます。全体として、KLA/TENCOR PLLAD Assy for 2138は、高度な微細加工プロセス向けの優れた製品検査ソリューションを提供し、ユーザーは最高の精度測定を適用して製品の品質を保証できます。その包括的な検査機能とユーザーフレンドリーな設計により、ハイエンドのリソグラフィおよびデバイス製造業界のメーカーにとって理想的な選択肢となります。
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