中古 KLA / TENCOR / HAMAMATSU R1617HA #200233 を販売中

KLA/TENCOR/HAMAMATSU R1617HAは、パターン化されたウェーハ上のこれまで検出できなかった欠陥や汚染を検出する高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、複数の検査技術を組み合わせて、生産プロセスにおける最大限の柔軟性と精度をユーザーに提供します。フォトマスク検査、ウェーハ検査、臨界寸法（CD）測定、およびマスクから完成ウェーハまでの製造プロセスの複数のレベルにわたる欠陥を検出する電気検査など、検査技術の完全なスイートを提供しています。最初に、機械は高度のマスクの点検機能を提供します。ダークフィールドライト（DFL）と明るいフィールドライト（BFL）イメージング技術を使用して、ツールは、通常の照明の下で見えるか見えないフォトマスクの欠陥を区別することができます。また、裏面検査では、マスク裏面の微妙な欠陥を特定し、従来の資産設計からのカバーを拡大します。次に、ウェーハの精密な検査と分析を提供します。Critical Dimension （CD）検査は、設計パターンの細部を検出して測定しますが、伝送ダークフィールド、明るいフィールド、スペクトルイメージングなどの検査技術は、ウェーハ表面の幅広い欠陥を検出することができます。電気試験では、集積回路（IC）試験機能を備え、製品ウェーハの欠陥密度が低くなります。これらの機能に加えて、さまざまなサブミクロン機能や光学薄膜構造に特化した部品を採用し、幅広い用途での精度をサポートしています。さらに、スループットを損なうことなく欠陥検出を可能にするために、高度な光学系と照明源で設計されています。KLA R1617HAは、最高の信頼性と性能を確保するために、高度な電磁（EM）試験、振動、温度制御によって設計および製造され、堅牢なハードウェア/ソフトウェアコンポーネントとツール管理プロセスを利用しています。アセットも完全に拡張可能で、さまざまな生産要件に対応する汎用性の高いソリューションです。要するに、TENCOR R1617HAは、正確な欠陥検出、正確なウェーハCD測定、および幅広い製造プロセス向けの信頼性の高い電気試験を提供する強力なマスクおよびウェーハ検査モデルです。洗練された設計と厳格な品質管理プロセスを組み合わせたこの装置は、高度な生産要件に対して信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。