中古 KLA / TENCOR EFEM #9276609 を販売中

KLA/TENCOR EFEMは、全面欠陥検出機能を備えたマスクおよびウェハ検査装置です。独自の光学設計、堅牢なハードウェア設計、高度な画像処理を統合したこのシステムは、品質保証検査で優れた精度と再現性を提供します。このユニットは、KLA特許取得済みのマルチスキャン強化レーザービームイメージングと高度な光学イメージング技術を使用して、詳細な表面情報とサブミクロン欠陥を明らかにします。高精度の光学ハードウェアは、欠陥や不完全さを検出し、細部まで特徴付けます。一体型の研磨光ろ過技術により、周囲光による画像アーティファクトを排除し、あらゆるマスクやウエハーの最適なイメージングを可能にします。また、高解像度カメラヘッド、高精度ズームオプティクス、最先端のオートフォーカスツール、および比類のない性能と分析を提供する強力な画像処理アルゴリズムを備えています。さらに、特許取得済みのコンパクトKLA EFEM技術は、パターン認識とマスク生成、高速フィールドスポット検出と補正、欠陥検出と分類、ウエハーとダイの比較、特別なエッジ認識を含む包括的に統合された検査プラットフォームを提供します。同時に、モデルは自己学習アフィニティデータマッチングとパターン解析アルゴリズムを使用して、エッジ遷移またはアライメントおよびハーフトーン検査における不一致をキャプチャします。これにより、実際のマスク性能が正確かつリアルタイムで評価されます。TENCOR EFEM装置には、さまざまなカスタムデザインの品質管理メトリクスと手動レビューツールを統合することを可能にする自動検査および分析ソフトウェアのスイートも備えています。さらに、さまざまなトレーサビリティと追跡機能を備えているため、オペレータは生産データを迅速かつ正確にチェックし、結果を検査して確立された基準を適切に遵守することができます。全体的に、EFEMユニットは、マスクとウェーハの品質保証において優れた精度と再現性を提供します。この強力で汎用性の高いソリューションにより、メーカーは製品の品質を保証し、時間とコストを節約できます。