中古 KLA / TENCOR Archer AIM #64588 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIMは、高速で信頼性の高い高性能マスク検査を可能にするように設計された、自動化された直感的なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、重要で高価になる前に欠陥を見つけて修正することができる、高速で効率的なツールであるように設計されています。より高い解像度で、より少ない欠陥で高性能を提供するように設計されています。このユニットは、フォトマスクの欠陥、およびリソグラフィック（ウェハ）欠陥を検出および修正することができます。ユーザーフレンドリーに設計されているため、エキスパート以外のエキスパートは、自動ルーチンタスクを迅速かつ簡単に実行することができます。この機械には、欠陥イメージング、署名分析、分類および定量化、欠陥分類分析およびパターン認識など、幅広い自動マスク検査機能が装備されています。また、最新のスリットスキャンイメージングとアライメントが含まれており、フォトマスクとリソグラフィックレベルの両方の欠陥をキャプチャすることができます。このツールは、正と負の両方のフォトマスクレイアウトを検査するように設計されており、1x nmから5xnmの解像度スケールでエラーを見つけて修正することができます。また、粒子、不透明な異物、粉塵、ピンホール、パターン欠陥、および不整合など、幅広い欠陥を検出することができます。資産は、両方の中間欠陥を検出し、修正することができます、すなわち、目に見えるか、フィールドと大きな欠陥で検出されているもの、パターン欠陥のそうでなければ見えない範囲のもの。このモデルには、柔軟なイメージングツールも装備されており、各マスク層を利用可能な最高解像度で見ることができます。このツールはまた、必要に応じて密集した領域と間隔のある領域の間でフォーカスをシフトし、ズームしてユーザーに影響を受ける領域を詳しく見ることができます。また、故障管理とロギング機能を内蔵しており、自動検査結果に関する是正措置とデータを迅速かつ簡単に確認できます。このシステムは、現場の新しい欠陥情報を迅速に更新し、さらに分析するためのレポートを生成することもできます。最後に、このユニットは、トレーニング、ソフトウェアアップデート、システムメンテナンスなどの包括的なサービスを備え、欠陥を検出および修正するための最も費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。このマシンは拡張性が高く、必要に応じて簡単にアップグレードできます。