中古 KLA / TENCOR Archer AIM #151422 を販売中

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ID: 151422
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Overlay inspection system, 12" Front end only (2) ASYST 300mm IsoPort load-ports: PN: 9700-9129-01 rev J SW ver: 5206-2702-0800 Brooks PRE-300B-U-I-CE-S2 pre-aligner: KLA PN: 0029191-000 Brooks robot handler: 3-axis, single arm, single blade / end-effecter Mini-environment with HEPA filter CE marked 2006 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIMは、ウェーハの品質と仕様を維持するために特別に設計された幅広い機能を備えた自動マスクおよびウェーハ検査装置です。ウェーハの品質を危うくする重要な欠陥が存在しないことを確認することができます。KLA Archer AIMは、高度な光学技術、高品質の目視検査技術、および優れた計測機能を使用して、すべての欠陥が正確に識別され、定量化され、分類されることを保証します。これは、チップの歩留まりを改善し、チップ故障のリスクを低減するのに役立ちます。TENCOR Archer AIMには、MetaSuite™、 Image Coach、 ProPerf、 SuperTronics、 BitMap、 AIM-Scan、 AIMTestなどの強力なソフトウェアとハードウェアが付属しています。MetaSuite ™はマスクとウェーハパターニングの欠陥を照らし、AIM-Scanは高度なアルゴリズムを使用してパターンレイアウトが完全に正確であることを確認します。イメージコーチは、欠陥の形状とサイズを測定する3D検査ツールです。BitMapは、データベースへの搬送のための欠陥形状とサイズをすばやくマッピングします。ProPerfは、ウェーハ表面の性能を迅速かつ正確に評価するパフォーマンスモジュールです。SuperTronicsツールはProPerfと組み合わせて使用し、ウェハの電気特性も正しいことを確認します。AIMTestは、製造プロセスが完了した後にウェーハを検査する半自動試験システムです。アーチャーAIMは、位置、サイズ、形状などの欠陥密度情報を提供することもできます。これは、降伏損失につながる可能性のある顕微鏡とマクロの両方の欠陥を特定するのに役立ちます。さらに、このユニットには、可視化、データ分析、およびラピッドプロトタイピングのための豊富なユーザーインターフェイスと柔軟なカスタマイズオプションがあります。全体として、KLA/TENCOR Archer AIMは、高い画像解像度、欠陥解析、ウェーハに関する包括的な情報を提供する機能を備えているため、ウェーハおよびマスク検査のための強力なツールです。さらに、そのハイエンドモジュラーソフトウェアとハードウェアは、高度にカスタマイズ可能で信頼性の高いマシンになります。
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