中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9379085 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10 XTは、最も要求の厳しい半導体生産プロセスの高度なリソグラフィニーズを満たすように設計された、高性能で自動化されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度な光学イメージングおよび検査ユニットを備えており、高解像度のイメージングの詳細と、ウェーハやマスクのパターンや欠陥の正確な分析を提供します。このマシンには、ブライトフィールドとダークフィールドの両方の画像をキャプチャし、欠陥を正確に検出するための統合カラー画像処理カメラが含まれています。KLA ARCHER10XTには、デュアルエネルギー顕微鏡やさまざまな自動欠陥分類ツールなど、多くの統合計測ツールがあります。これらのツールは、ラインやスペース、サイドウォール角度、アイソレーションなどの重要な機能を検査するための高い精度を提供します。このツールは、オーバースプレー、粒子沈着、フォトレジスト残留物などのエラーマップ解析にも正確な測定機能を備えています。また、高度な自動化機能を備えているため、プロセスエンジニアはユーザーの介入を最小限に抑えて、自動化されたカスタム検査ルーチンをプログラムできます。さらに、TENCOR ARCHER 10XTには、正確なウェーハ方向の自動アセットと、マスク欠陥の検出を改善するための散乱/環状ダークフィールドモデルの組み合わせなど、さまざまなオプション機能があります。3つの独立した測定軸の周りに構築された堅牢な計測アーキテクチャを備えており、高い精度と再現性を提供します。また、使いやすいタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、簡単にナビゲーションできます。TENCOR ARCHER10XTは、実証済みのKLAイメージングおよび検査技術とさまざまな高性能マシン機能を組み合わせ、マスクおよびウェハプロセス制御に信頼性の高い包括的なソリューションを提供します。高いスループットで動作するように設計されており、サイクル時間の短縮と生産性の向上に役立ちます。KLA Archer 10 XTは、高度な機能セットと信頼性の高いパフォーマンスにより、半導体生産プロセスに最適なツールです。